发光学报
髮光學報
발광학보
CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
2014年
7期
883-888
,共6页
朱凝%张辉%李浩
硃凝%張輝%李浩
주응%장휘%리호
金属表面等离激元%截线滤波器%硅基绝缘体材料%混合型表面等离激元波导
金屬錶麵等離激元%截線濾波器%硅基絕緣體材料%混閤型錶麵等離激元波導
금속표면등리격원%절선려파기%규기절연체재료%혼합형표면등리격원파도
surface plasmon%stub-type wavelength filter%silicon-on-insulator%hybrid plasmonic waveguide
提出并分析了一种结构紧凑的截线型滤波器。该滤波器建立在一种硅基混合型表面等离激元波导结构上。与通常的混合等离激元结构相比,该波导结构在制作时只需对顶部的一层硅材料进行刻蚀,不需在光刻步骤进行对准和套刻,工艺简单易行。该截线滤波器由一截突柱波导与直波导耦合组成,并采用三维时域有限差分方法对其频谱响应进行模拟计算。计算结果表明该滤波器与现有文献中的二维金属-绝缘体-金属波导截线滤波器具有类似的频谱特性。另外,还进一步分析了截线部分及波导自身尺寸对器件输出频谱的影响。
提齣併分析瞭一種結構緊湊的截線型濾波器。該濾波器建立在一種硅基混閤型錶麵等離激元波導結構上。與通常的混閤等離激元結構相比,該波導結構在製作時隻需對頂部的一層硅材料進行刻蝕,不需在光刻步驟進行對準和套刻,工藝簡單易行。該截線濾波器由一截突柱波導與直波導耦閤組成,併採用三維時域有限差分方法對其頻譜響應進行模擬計算。計算結果錶明該濾波器與現有文獻中的二維金屬-絕緣體-金屬波導截線濾波器具有類似的頻譜特性。另外,還進一步分析瞭截線部分及波導自身呎吋對器件輸齣頻譜的影響。
제출병분석료일충결구긴주적절선형려파기。해려파기건립재일충규기혼합형표면등리격원파도결구상。여통상적혼합등리격원결구상비,해파도결구재제작시지수대정부적일층규재료진행각식,불수재광각보취진행대준화투각,공예간단역행。해절선려파기유일절돌주파도여직파도우합조성,병채용삼유시역유한차분방법대기빈보향응진행모의계산。계산결과표명해려파기여현유문헌중적이유금속-절연체-금속파도절선려파기구유유사적빈보특성。령외,환진일보분석료절선부분급파도자신척촌대기건수출빈보적영향。
An ultra-compact wavelength filter on silicon-based hybrid plasmonic waveguide is proposed and simula-ted. The present hybrid plasmonic structure needs only one layer to be patterned and is favorable for fabrication. The light is confined strongly in a thin silica dioxide layer between the metal substrate and silicon top layer. The filter con-sists of a stub structure coupled to a straight waveguide. The output spectra calculated by the 3D FDTD method are similar as those devices based on the 2D metal-insulator-metal waveguide structure in the previous literatures. In ad-dition, the effects of the dimensions of the stub and waveguide structure on the device's performance are analyzed.