湖南工业大学学报
湖南工業大學學報
호남공업대학학보
JOURNAL OF HUNAN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
2014年
3期
88-93
,共6页
杨帆%周昕%何明灿%周响亮%彭峰%李雪勇
楊帆%週昕%何明燦%週響亮%彭峰%李雪勇
양범%주흔%하명찬%주향량%팽봉%리설용
Al掺杂ZnO%磁控溅射%晶体结构%光学性质
Al摻雜ZnO%磁控濺射%晶體結構%光學性質
Al참잡ZnO%자공천사%정체결구%광학성질
研究了Al掺杂对采用直流磁控溅射方法制备的ZnO薄膜结构及光学性能的影响.X射线衍射结果揭示薄膜具有良好的C轴择优取向生长特性,同时,衬底温度对它们的透射谱和荧光谱有着明显影响,所有薄膜都有大于86％的可见光透过率和陡峭的本征吸收边,但ZAO薄膜的光学透过率略低.A1掺杂导致了更宽的光学带隙,光致发光光谱显示ZnO具有较强的近带本征吸收峰和深能级发射峰,但Al掺杂使得深能级发射峰降低.随着衬底温度的升高,近带边吸收峰蓝移,与光学带隙Eg变化趋势一致.
研究瞭Al摻雜對採用直流磁控濺射方法製備的ZnO薄膜結構及光學性能的影響.X射線衍射結果揭示薄膜具有良好的C軸擇優取嚮生長特性,同時,襯底溫度對它們的透射譜和熒光譜有著明顯影響,所有薄膜都有大于86％的可見光透過率和陡峭的本徵吸收邊,但ZAO薄膜的光學透過率略低.A1摻雜導緻瞭更寬的光學帶隙,光緻髮光光譜顯示ZnO具有較彊的近帶本徵吸收峰和深能級髮射峰,但Al摻雜使得深能級髮射峰降低.隨著襯底溫度的升高,近帶邊吸收峰藍移,與光學帶隙Eg變化趨勢一緻.
연구료Al참잡대채용직류자공천사방법제비적ZnO박막결구급광학성능적영향.X사선연사결과게시박막구유량호적C축택우취향생장특성,동시,츤저온도대타문적투사보화형광보유착명현영향,소유박막도유대우86％적가견광투과솔화두초적본정흡수변,단ZAO박막적광학투과솔략저.A1참잡도치료경관적광학대극,광치발광광보현시ZnO구유교강적근대본정흡수봉화심능급발사봉,단Al참잡사득심능급발사봉강저.수착츤저온도적승고,근대변흡수봉람이,여광학대극Eg변화추세일치.
