电子机械工程
電子機械工程
전자궤계공정
ELECTRO-MECHANICAL ENGINEERING
2014年
4期
24-26,29
,共4页
真空腔体%罗茨泵%有限元
真空腔體%囉茨泵%有限元
진공강체%라자빙%유한원
为使大尺寸印制板能够进行低温等离子处理,设计了大型等离子处理设备,该设备具有真空度可调的真空系统、电极可冷却的电源系统及基于可编程逻辑控制器(Programmable Logic Control,PLC)和触摸屏的控制系统.文中简要介绍了大型等离子处理设备的组成及工作方式,详细阐述了真空系统设计,包括真空泵组选型计算和基于有限元的真空腔体结构优化设计.实践证明,该设备具有等离子体产生速度快、腔体温度控制效果好等特点,达到了国内领先水平.
為使大呎吋印製闆能夠進行低溫等離子處理,設計瞭大型等離子處理設備,該設備具有真空度可調的真空繫統、電極可冷卻的電源繫統及基于可編程邏輯控製器(Programmable Logic Control,PLC)和觸摸屏的控製繫統.文中簡要介紹瞭大型等離子處理設備的組成及工作方式,詳細闡述瞭真空繫統設計,包括真空泵組選型計算和基于有限元的真空腔體結構優化設計.實踐證明,該設備具有等離子體產生速度快、腔體溫度控製效果好等特點,達到瞭國內領先水平.
위사대척촌인제판능구진행저온등리자처리,설계료대형등리자처리설비,해설비구유진공도가조적진공계통、전겁가냉각적전원계통급기우가편정라집공제기(Programmable Logic Control,PLC)화촉모병적공제계통.문중간요개소료대형등리자처리설비적조성급공작방식,상세천술료진공계통설계,포괄진공빙조선형계산화기우유한원적진공강체결구우화설계.실천증명,해설비구유등리자체산생속도쾌、강체온도공제효과호등특점,체도료국내령선수평.
