沈阳理工大学学报
瀋暘理工大學學報
침양리공대학학보
JOURNAL OF SHENYANG INTITUTE OF TECHNOLOGY
2014年
4期
62-66
,共5页
张卫红%宋建宇%张红丽%吴杰%乌日娜
張衛紅%宋建宇%張紅麗%吳傑%烏日娜
장위홍%송건우%장홍려%오걸%오일나
表面织构%激光刻蚀%太阳能电池多晶硅片%入射角%反射率
錶麵織構%激光刻蝕%太暘能電池多晶硅片%入射角%反射率
표면직구%격광각식%태양능전지다정규편%입사각%반사솔
surface texturation%laser etching%multicrystalline silicon solar cell%angle of incidence%reflectivity
利用激光分别以0°、30°、45°、60°的入射角对多晶硅片表面进行刻蚀,然后用10％ NaOH溶液腐蚀去除损伤层,从而构造多晶硅片表面织构.采用光谱仪测试多晶硅片表面反射率,应用扫描电镜表征多晶硅片样品表面形貌,研究激光刻蚀角度对多晶硅片表面反射率的影响.结果表明:随激光刻蚀角度不同,多晶硅片表面反射率变化明显,其中刻蚀角度为45°时,多晶硅片表面反射率降低最为显著.
利用激光分彆以0°、30°、45°、60°的入射角對多晶硅片錶麵進行刻蝕,然後用10％ NaOH溶液腐蝕去除損傷層,從而構造多晶硅片錶麵織構.採用光譜儀測試多晶硅片錶麵反射率,應用掃描電鏡錶徵多晶硅片樣品錶麵形貌,研究激光刻蝕角度對多晶硅片錶麵反射率的影響.結果錶明:隨激光刻蝕角度不同,多晶硅片錶麵反射率變化明顯,其中刻蝕角度為45°時,多晶硅片錶麵反射率降低最為顯著.
이용격광분별이0°、30°、45°、60°적입사각대다정규편표면진행각식,연후용10％ NaOH용액부식거제손상층,종이구조다정규편표면직구.채용광보의측시다정규편표면반사솔,응용소묘전경표정다정규편양품표면형모,연구격광각식각도대다정규편표면반사솔적영향.결과표명:수격광각식각도불동,다정규편표면반사솔변화명현,기중각식각도위45°시,다정규편표면반사솔강저최위현저.
