光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2014年
10期
2773-2778
,共6页
许素安%谢敏%孙坚%陈乐%王桂荣
許素安%謝敏%孫堅%陳樂%王桂榮
허소안%사민%손견%진악%왕계영
纳米定位系统%外差干涉仪%压电陶瓷执行器%高频相移电路%宏、微二级运动
納米定位繫統%外差榦涉儀%壓電陶瓷執行器%高頻相移電路%宏、微二級運動
납미정위계통%외차간섭의%압전도자집행기%고빈상이전로%굉、미이급운동
nano-positioning system%heterodyne interferometer%piezoelectric actuator%high frequency phase-shifting circuit%macro-micro dual movement
由于压电陶瓷驱动器作纳米定位控制系统驱动元件会导致定位过程中出现超调及振荡现象,故提出了一种新的基于外差干涉仪和自制高频相移电路的光电相移压电陶瓷驱动方法.实验论证了在严格控制的实验环境下,压电陶瓷能实现自主位置锁定并以纳米量级步距值被逐步推进.步距值可控的压电陶瓷驱动器与商用宏动平台结合,可实现纳米精度重复性的大行程定位系统.实验结果表明,对于5 mm往返行程的位移,在靠近目标处执行理论值为5nm步距值的步进位移时,系统的定位重复性精度小于1 nm.该定位方法规避了压电陶瓷的机械非线性误差,具有系统架构简单,定位速度快等优点,可应用于当前纳米科技和超精密加工等领域.
由于壓電陶瓷驅動器作納米定位控製繫統驅動元件會導緻定位過程中齣現超調及振盪現象,故提齣瞭一種新的基于外差榦涉儀和自製高頻相移電路的光電相移壓電陶瓷驅動方法.實驗論證瞭在嚴格控製的實驗環境下,壓電陶瓷能實現自主位置鎖定併以納米量級步距值被逐步推進.步距值可控的壓電陶瓷驅動器與商用宏動平檯結閤,可實現納米精度重複性的大行程定位繫統.實驗結果錶明,對于5 mm往返行程的位移,在靠近目標處執行理論值為5nm步距值的步進位移時,繫統的定位重複性精度小于1 nm.該定位方法規避瞭壓電陶瓷的機械非線性誤差,具有繫統架構簡單,定位速度快等優點,可應用于噹前納米科技和超精密加工等領域.
유우압전도자구동기작납미정위공제계통구동원건회도치정위과정중출현초조급진탕현상,고제출료일충신적기우외차간섭의화자제고빈상이전로적광전상이압전도자구동방법.실험론증료재엄격공제적실험배경하,압전도자능실현자주위치쇄정병이납미량급보거치피축보추진.보거치가공적압전도자구동기여상용굉동평태결합,가실현납미정도중복성적대행정정위계통.실험결과표명,대우5 mm왕반행정적위이,재고근목표처집행이론치위5nm보거치적보진위이시,계통적정위중복성정도소우1 nm.해정위방법규피료압전도자적궤계비선성오차,구유계통가구간단,정위속도쾌등우점,가응용우당전납미과기화초정밀가공등영역.
