光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2014年
10期
2708-2714
,共7页
王玉朝%滕霖%孙香政%王刚%郭志想%余才佳
王玉朝%滕霖%孫香政%王剛%郭誌想%餘纔佳
왕옥조%등림%손향정%왕강%곽지상%여재가
硅微陀螺%真空封装%品质因数%标定%时延常数法%扫频法
硅微陀螺%真空封裝%品質因數%標定%時延常數法%掃頻法
규미타라%진공봉장%품질인수%표정%시연상수법%소빈법
microgyroscope%vacuum packaging%quality factor%calibration%decay constant method%frequency sweeping method
建立了真空封装陀螺的无激励欠阻尼二阶系统模型,用于测量真空封装硅微陀螺的品质因数.对该模型进行理论推导,提出了一种时延常数测试方法.该方法首先利用锁相环路,驱动陀螺实现闭环谐振,获得较大的初始振幅.然后关断激励信号,通过放大电路和解调电路,记录硅微陀螺振荡幅值的衰减过程;用计算机通过Matlab GUI实时采集并拟合振幅衰减曲线,获得时间常数.最后,通过时间常数解算获得真空封装硅微陀螺的品质因数.对真空封装硅微陀螺品质因数的实验测试结果表明:该方法实测数据与理论分析模型的拟合度为99.999％,测试重复性为4.03％,优于传统的扫频测试法的重复性.对比时延常数法与锁相放大器扫频测试法的测试数据显示:时延常数法具有更高的测量精度和更高的测试效率.该方法可以推广到其它高真空封装MEMS器件的品质因数测量.
建立瞭真空封裝陀螺的無激勵欠阻尼二階繫統模型,用于測量真空封裝硅微陀螺的品質因數.對該模型進行理論推導,提齣瞭一種時延常數測試方法.該方法首先利用鎖相環路,驅動陀螺實現閉環諧振,穫得較大的初始振幅.然後關斷激勵信號,通過放大電路和解調電路,記錄硅微陀螺振盪幅值的衰減過程;用計算機通過Matlab GUI實時採集併擬閤振幅衰減麯線,穫得時間常數.最後,通過時間常數解算穫得真空封裝硅微陀螺的品質因數.對真空封裝硅微陀螺品質因數的實驗測試結果錶明:該方法實測數據與理論分析模型的擬閤度為99.999％,測試重複性為4.03％,優于傳統的掃頻測試法的重複性.對比時延常數法與鎖相放大器掃頻測試法的測試數據顯示:時延常數法具有更高的測量精度和更高的測試效率.該方法可以推廣到其它高真空封裝MEMS器件的品質因數測量.
건립료진공봉장타라적무격려흠조니이계계통모형,용우측량진공봉장규미타라적품질인수.대해모형진행이론추도,제출료일충시연상수측시방법.해방법수선이용쇄상배로,구동타라실현폐배해진,획득교대적초시진폭.연후관단격려신호,통과방대전로화해조전로,기록규미타라진탕폭치적쇠감과정;용계산궤통과Matlab GUI실시채집병의합진폭쇠감곡선,획득시간상수.최후,통과시간상수해산획득진공봉장규미타라적품질인수.대진공봉장규미타라품질인수적실험측시결과표명:해방법실측수거여이론분석모형적의합도위99.999％,측시중복성위4.03％,우우전통적소빈측시법적중복성.대비시연상수법여쇄상방대기소빈측시법적측시수거현시:시연상수법구유경고적측량정도화경고적측시효솔.해방법가이추엄도기타고진공봉장MEMS기건적품질인수측량.
