光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2014年
10期
2674-2682
,共9页
杨超%于海利%冯树龙%李晓天%齐向东%姜珊%唐玉国
楊超%于海利%馮樹龍%李曉天%齊嚮東%薑珊%唐玉國
양초%우해리%풍수룡%리효천%제향동%강산%당옥국
刻划刀架%刻划光栅%刻线弯曲%刻线位置误差%光栅光谱
刻劃刀架%刻劃光柵%刻線彎麯%刻線位置誤差%光柵光譜
각화도가%각화광책%각선만곡%각선위치오차%광책광보
ruling carriage%machine-ruling grating%grating line curve%location error of grating line%grating spectrum
采用菲涅耳-基尔霍夫衍射理论建立了存在刻线弯曲和刻线位置误差的光栅衍射谱成像数学模型,分析了上述误差对光栅光谱性能的影响.针对刻划刀架系统运行不稳定问题,设计了一套光学测量结构,并提出了刻划刀架系统的机械改进方案:采用双侧柔性铰链式结构代替原有的鞍型滑块与刻划刀架的固定连接方式.最后,进行了刻划刀架系统运行稳定性测试和光栅刻划实验.刻划刀架运行稳定性测试实验表明:改进后的刻划刀架系统运行稳定性比改进前有显著改善,位移曲线重复性误差PV值由127 nm降低到13 nm,降低了约89％.光栅刻划实验表明,刻划刀架系统改进后,光栅光谱性能有明显的改善,光栅杂散光得到了有效抑制.得到的实验结果与仿真分析结果较为一致,为提高机械刻划光栅质量提供了理论及技术保障.
採用菲涅耳-基爾霍伕衍射理論建立瞭存在刻線彎麯和刻線位置誤差的光柵衍射譜成像數學模型,分析瞭上述誤差對光柵光譜性能的影響.針對刻劃刀架繫統運行不穩定問題,設計瞭一套光學測量結構,併提齣瞭刻劃刀架繫統的機械改進方案:採用雙側柔性鉸鏈式結構代替原有的鞍型滑塊與刻劃刀架的固定連接方式.最後,進行瞭刻劃刀架繫統運行穩定性測試和光柵刻劃實驗.刻劃刀架運行穩定性測試實驗錶明:改進後的刻劃刀架繫統運行穩定性比改進前有顯著改善,位移麯線重複性誤差PV值由127 nm降低到13 nm,降低瞭約89％.光柵刻劃實驗錶明,刻劃刀架繫統改進後,光柵光譜性能有明顯的改善,光柵雜散光得到瞭有效抑製.得到的實驗結果與倣真分析結果較為一緻,為提高機械刻劃光柵質量提供瞭理論及技術保障.
채용비열이-기이곽부연사이론건립료존재각선만곡화각선위치오차적광책연사보성상수학모형,분석료상술오차대광책광보성능적영향.침대각화도가계통운행불은정문제,설계료일투광학측량결구,병제출료각화도가계통적궤계개진방안:채용쌍측유성교련식결구대체원유적안형활괴여각화도가적고정련접방식.최후,진행료각화도가계통운행은정성측시화광책각화실험.각화도가운행은정성측시실험표명:개진후적각화도가계통운행은정성비개진전유현저개선,위이곡선중복성오차PV치유127 nm강저도13 nm,강저료약89％.광책각화실험표명,각화도가계통개진후,광책광보성능유명현적개선,광책잡산광득도료유효억제.득도적실험결과여방진분석결과교위일치,위제고궤계각화광책질량제공료이론급기술보장.
