光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2014年
10期
2639-2644
,共6页
邵晶%马冬梅%张海涛%于杰%周烽
邵晶%馬鼕梅%張海濤%于傑%週烽
소정%마동매%장해도%우걸%주봉
光学检测%点衍射干涉仪%相位复原%衍射波前
光學檢測%點衍射榦涉儀%相位複原%衍射波前
광학검측%점연사간섭의%상위복원%연사파전
optical testing%point diffraction interferometer%phase retrieval%diffractive wavefront
研制点衍射干涉仪时,小孔的形貌和装调误差会对衍射波前质量产生影响,故本文研究了采用相位复原对小孔衍射波前质量进行测评的方法.设计并搭建了衍射波前测试装置,对光纤衍射波前进行了测评实验.为了验证测试方法的有效性,分别对采集的衍射图像与重构的衍射图像,以及测试获得的振幅分布与理论计算获得的振幅分布进行了对比.结果显示.采集图像与重构图像之间的差异为0.32％,验证了采用相位复原技术进行衍射波前测试方法的有效性.同时,对干涉方法测量与相位复原结果进行了对比,二者差异仅为0.001 4λ RMS.
研製點衍射榦涉儀時,小孔的形貌和裝調誤差會對衍射波前質量產生影響,故本文研究瞭採用相位複原對小孔衍射波前質量進行測評的方法.設計併搭建瞭衍射波前測試裝置,對光纖衍射波前進行瞭測評實驗.為瞭驗證測試方法的有效性,分彆對採集的衍射圖像與重構的衍射圖像,以及測試穫得的振幅分佈與理論計算穫得的振幅分佈進行瞭對比.結果顯示.採集圖像與重構圖像之間的差異為0.32％,驗證瞭採用相位複原技術進行衍射波前測試方法的有效性.同時,對榦涉方法測量與相位複原結果進行瞭對比,二者差異僅為0.001 4λ RMS.
연제점연사간섭의시,소공적형모화장조오차회대연사파전질양산생영향,고본문연구료채용상위복원대소공연사파전질량진행측평적방법.설계병탑건료연사파전측시장치,대광섬연사파전진행료측평실험.위료험증측시방법적유효성,분별대채집적연사도상여중구적연사도상,이급측시획득적진폭분포여이론계산획득적진폭분포진행료대비.결과현시.채집도상여중구도상지간적차이위0.32％,험증료채용상위복원기술진행연사파전측시방법적유효성.동시,대간섭방법측량여상위복원결과진행료대비,이자차이부위0.001 4λ RMS.
