微处理机
微處理機
미처리궤
MICROPROCESSORS
2014年
5期
14-15
,共2页
硝酸铈铵%王水%NiCr
硝痠鈰銨%王水%NiCr
초산시안%왕수%NiCr
Ce(NH4 )2 (NO3 )6%Aqua fortis%NiCr
传统的以NiCr为势垒层的肖特基产品在势垒合金完成后使用王水（硝酸：盐酸＝1：3）去除多余的NiCr，但此方法过程不易控制，形成的势垒区也不十分平坦，而使用硝酸铈铵溶液去除NiCr不仅过程容易控制，且成品率高。通过对两种方法去除NiCr的对比，找到了更合适的肖特基产品的NiCr势垒层腐蚀方法。
傳統的以NiCr為勢壘層的肖特基產品在勢壘閤金完成後使用王水（硝痠：鹽痠＝1：3）去除多餘的NiCr，但此方法過程不易控製，形成的勢壘區也不十分平坦，而使用硝痠鈰銨溶液去除NiCr不僅過程容易控製，且成品率高。通過對兩種方法去除NiCr的對比，找到瞭更閤適的肖特基產品的NiCr勢壘層腐蝕方法。
전통적이NiCr위세루층적초특기산품재세루합금완성후사용왕수（초산：염산＝1：3）거제다여적NiCr，단차방법과정불역공제，형성적세루구야불십분평탄，이사용초산시안용액거제NiCr불부과정용역공제，차성품솔고。통과대량충방법거제NiCr적대비，조도료경합괄적초특기산품적NiCr세루층부식방법。
The traditional method for etching NiCr barrier,using aqua fortis after alloy,is not controlled easily,and the barrier is not very smooth.But the method for etching NiCr barrier by solution of nitric acid ceric ammonium is controlled easily and has high finished product rate.After comparation of two methods mentioned above,the paper finds a suitable method for NiCr barrier Schottky.
