无机化学学报
無機化學學報
무궤화학학보
JOURNAL OF INORGANIC CHEMISTRY
2014年
9期
2043-2048
,共6页
王丽秀%魏林%陶占良%陈军
王麗秀%魏林%陶佔良%陳軍
왕려수%위림%도점량%진군
MoS2薄膜%射频磁控溅射%锂离子电池
MoS2薄膜%射頻磁控濺射%鋰離子電池
MoS2박막%사빈자공천사%리리자전지
MoS2 thin film%RF magnetron sputtering%Li-ion battery
采用射频磁控溅射法,在Ar气-H2S混合气氛中,以MoS2靶材为原料,在泡沫铜基底上制备了MoS2薄膜.利用X射线衍射(XRD)、Raman光谱、扫描电子显微镜(SEM)、能量弥散X射线谱(EDS)等手段对样品的结构、形貌和成分进行了表征,并探讨了靶功率和基底温度对MoS2薄膜的结构及形貌的影响.结果表明,靶功率的增加可以提高薄膜结晶度,但功率过高会造成薄膜的龟裂;基底温度升高会使MoS2薄膜结晶度明显提高,且形成蠕虫状形貌.靶功率为80 W,基底温度为300℃时,可以制备得到具有较高结晶度的蠕虫状MoS2薄膜.对其进行充放电测试表明,在100 mA·g-1的电流密度下,其首次放电比容量为980 mAh·g-1,经过40周循环,容量可保持为约920 mAh· g-1,容量保持率达到93.9％.
採用射頻磁控濺射法,在Ar氣-H2S混閤氣氛中,以MoS2靶材為原料,在泡沫銅基底上製備瞭MoS2薄膜.利用X射線衍射(XRD)、Raman光譜、掃描電子顯微鏡(SEM)、能量瀰散X射線譜(EDS)等手段對樣品的結構、形貌和成分進行瞭錶徵,併探討瞭靶功率和基底溫度對MoS2薄膜的結構及形貌的影響.結果錶明,靶功率的增加可以提高薄膜結晶度,但功率過高會造成薄膜的龜裂;基底溫度升高會使MoS2薄膜結晶度明顯提高,且形成蠕蟲狀形貌.靶功率為80 W,基底溫度為300℃時,可以製備得到具有較高結晶度的蠕蟲狀MoS2薄膜.對其進行充放電測試錶明,在100 mA·g-1的電流密度下,其首次放電比容量為980 mAh·g-1,經過40週循環,容量可保持為約920 mAh· g-1,容量保持率達到93.9％.
채용사빈자공천사법,재Ar기-H2S혼합기분중,이MoS2파재위원료,재포말동기저상제비료MoS2박막.이용X사선연사(XRD)、Raman광보、소묘전자현미경(SEM)、능량미산X사선보(EDS)등수단대양품적결구、형모화성분진행료표정,병탐토료파공솔화기저온도대MoS2박막적결구급형모적영향.결과표명,파공솔적증가가이제고박막결정도,단공솔과고회조성박막적구렬;기저온도승고회사MoS2박막결정도명현제고,차형성연충상형모.파공솔위80 W,기저온도위300℃시,가이제비득도구유교고결정도적연충상MoS2박막.대기진행충방전측시표명,재100 mA·g-1적전류밀도하,기수차방전비용량위980 mAh·g-1,경과40주순배,용량가보지위약920 mAh· g-1,용량보지솔체도93.9％.
