传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2014年
10期
17-20,24
,共5页
章皓%徐大诚%陈巧%谢会开
章皓%徐大誠%陳巧%謝會開
장호%서대성%진교%사회개
MEMS微镜%数学建模%驱动器
MEMS微鏡%數學建模%驅動器
MEMS미경%수학건모%구동기
MEMS micro-mirror%mathematical modeling%actuator
结合微镜驱动器结构,通过引入热导和弹簧刚体模型分析了多驱动器间热传导和相互作用力导致的形变原因,并建立了多自由度微镜的数学模型.仿真与实验数据对比说明:建立的模型与实验结果具有较好的一致性,能够预测4个驱动器的输入响应特性.
結閤微鏡驅動器結構,通過引入熱導和彈簧剛體模型分析瞭多驅動器間熱傳導和相互作用力導緻的形變原因,併建立瞭多自由度微鏡的數學模型.倣真與實驗數據對比說明:建立的模型與實驗結果具有較好的一緻性,能夠預測4箇驅動器的輸入響應特性.
결합미경구동기결구,통과인입열도화탄황강체모형분석료다구동기간열전도화상호작용력도치적형변원인,병건립료다자유도미경적수학모형.방진여실험수거대비설명:건립적모형여실험결과구유교호적일치성,능구예측4개구동기적수입향응특성.
