传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2014年
10期
14-16
,共3页
倾角传感器%加速度%温度补偿
傾角傳感器%加速度%溫度補償
경각전감기%가속도%온도보상
inclination sensor%acceleration%temperature compensation
半导体元件参数随温度变化而产生的温度漂移,将导致倾角传感器本身存在测量偏差,影响倾角测量的准确度.介绍了一种温度补偿方法,对基于加速度原理的差分电容式倾角传感器进行了温度补偿.经过试验验证结果表明:这种方法能够实现倾角传感器的温度补偿,在-55～ 85℃温度范围内可将倾角传感器的温漂降低1个数量级,有效地减少了环境温度对倾角传感器性能的影响.
半導體元件參數隨溫度變化而產生的溫度漂移,將導緻傾角傳感器本身存在測量偏差,影響傾角測量的準確度.介紹瞭一種溫度補償方法,對基于加速度原理的差分電容式傾角傳感器進行瞭溫度補償.經過試驗驗證結果錶明:這種方法能夠實現傾角傳感器的溫度補償,在-55～ 85℃溫度範圍內可將傾角傳感器的溫漂降低1箇數量級,有效地減少瞭環境溫度對傾角傳感器性能的影響.
반도체원건삼수수온도변화이산생적온도표이,장도치경각전감기본신존재측량편차,영향경각측량적준학도.개소료일충온도보상방법,대기우가속도원리적차분전용식경각전감기진행료온도보상.경과시험험증결과표명:저충방법능구실현경각전감기적온도보상,재-55～ 85℃온도범위내가장경각전감기적온표강저1개수량급,유효지감소료배경온도대경각전감기성능적영향.
