中国新技术新产品
中國新技術新產品
중국신기술신산품
CHINA NEW TECHNOLOGIES AND PRODUCTS
2014年
16期
29-30
,共2页
郑丽云%龚友平%刘彦辉
鄭麗雲%龔友平%劉彥輝
정려운%공우평%류언휘
MEMS%吸合%静电力%顺序耦合
MEMS%吸閤%靜電力%順序耦閤
MEMS%흡합%정전력%순서우합
本文基于静电场和弹性薄板理论，对MEMS静电结构的吸合现象进行了理论分析并给出公式化结果。然后借助于有限元分析软件ANSYS，对微开关中的静电驱动微悬臂梁进行分析，得到其吸合现象对应参数的标准数值，最后实现理论数值和标准数值的比较，以期对MEMS微执行器设计提供一定的理论支撑。
本文基于靜電場和彈性薄闆理論，對MEMS靜電結構的吸閤現象進行瞭理論分析併給齣公式化結果。然後藉助于有限元分析軟件ANSYS，對微開關中的靜電驅動微懸臂樑進行分析，得到其吸閤現象對應參數的標準數值，最後實現理論數值和標準數值的比較，以期對MEMS微執行器設計提供一定的理論支撐。
본문기우정전장화탄성박판이론，대MEMS정전결구적흡합현상진행료이론분석병급출공식화결과。연후차조우유한원분석연건ANSYS，대미개관중적정전구동미현비량진행분석，득도기흡합현상대응삼수적표준수치，최후실현이론수치화표준수치적비교，이기대MEMS미집행기설계제공일정적이론지탱。
