中国有色金属学报
中國有色金屬學報
중국유색금속학보
THE CHINESE JOURNAL OF NONFERROUS METALS
2014年
7期
1817-1822
,共6页
王永祯%王勇%刘志涛%蔡晓岚
王永禎%王勇%劉誌濤%蔡曉嵐
왕영정%왕용%류지도%채효람
石墨烯%透明导电薄膜%化学气相沉积%导电率
石墨烯%透明導電薄膜%化學氣相沉積%導電率
석묵희%투명도전박막%화학기상침적%도전솔
graphene%transparent conductive film%chemical vapor deposition%electrical conductivity
以铜箔为基底采用化学气相沉积法(CVD)制备石墨烯透明导电薄膜,利用SEM、RAMAN、UV和四探针测试仪对产物微观形貌与结构、透光性和导电性能进行表征,讨论反应温度和氢气流量对石墨烯薄膜结构及性能的影响.结果表明:在一定范围内调节氢气流量均可得到石墨烯薄膜;当反应温度为1000℃时,制备的石墨烯缺陷和层数较少,透光性较高.随温度升高;石墨烯薄膜产生的缺陷和层数减少,石墨烯的薄层电阻随生长温度的升高呈线性下降趋势.石墨烯透明薄膜的微观结构与导电性相互关系的研究为其进一步应用于宽波长范围的窗口电极材料提供了理论基础.
以銅箔為基底採用化學氣相沉積法(CVD)製備石墨烯透明導電薄膜,利用SEM、RAMAN、UV和四探針測試儀對產物微觀形貌與結構、透光性和導電性能進行錶徵,討論反應溫度和氫氣流量對石墨烯薄膜結構及性能的影響.結果錶明:在一定範圍內調節氫氣流量均可得到石墨烯薄膜;噹反應溫度為1000℃時,製備的石墨烯缺陷和層數較少,透光性較高.隨溫度升高;石墨烯薄膜產生的缺陷和層數減少,石墨烯的薄層電阻隨生長溫度的升高呈線性下降趨勢.石墨烯透明薄膜的微觀結構與導電性相互關繫的研究為其進一步應用于寬波長範圍的窗口電極材料提供瞭理論基礎.
이동박위기저채용화학기상침적법(CVD)제비석묵희투명도전박막,이용SEM、RAMAN、UV화사탐침측시의대산물미관형모여결구、투광성화도전성능진행표정,토론반응온도화경기류량대석묵희박막결구급성능적영향.결과표명:재일정범위내조절경기류량균가득도석묵희박막;당반응온도위1000℃시,제비적석묵희결함화층수교소,투광성교고.수온도승고;석묵희박막산생적결함화층수감소,석묵희적박층전조수생장온도적승고정선성하강추세.석묵희투명박막적미관결구여도전성상호관계적연구위기진일보응용우관파장범위적창구전겁재료제공료이론기출.
