光电技术应用
光電技術應用
광전기술응용
ELECTRO-OPTIC WARFARE & RADAR PASSIVE COUNTERMEASURES
2014年
3期
71-75
,共5页
杨宝磊%李丹%朱南南%曹增辉%孙腾飞%郑田甜%张骏
楊寶磊%李丹%硃南南%曹增輝%孫騰飛%鄭田甜%張駿
양보뢰%리단%주남남%조증휘%손등비%정전첨%장준
白光干涉测量%三维面型重构%Matlab%相对误差
白光榦涉測量%三維麵型重構%Matlab%相對誤差
백광간섭측량%삼유면형중구%Matlab%상대오차
采用Twyman光路结构和LED为光源进行白光干涉三维测量,对干涉图像及元件面型的重构算法进行了仿真研究.使用Matlab软件,选取了两种面型结构函数,仿真得出重构的面型,选取5个参考点进行了对比.研究结果表明,白光干涉测量具有高精度、测量时间短、相对误差小于0.5％.
採用Twyman光路結構和LED為光源進行白光榦涉三維測量,對榦涉圖像及元件麵型的重構算法進行瞭倣真研究.使用Matlab軟件,選取瞭兩種麵型結構函數,倣真得齣重構的麵型,選取5箇參攷點進行瞭對比.研究結果錶明,白光榦涉測量具有高精度、測量時間短、相對誤差小于0.5％.
채용Twyman광로결구화LED위광원진행백광간섭삼유측량,대간섭도상급원건면형적중구산법진행료방진연구.사용Matlab연건,선취료량충면형결구함수,방진득출중구적면형,선취5개삼고점진행료대비.연구결과표명,백광간섭측량구유고정도、측량시간단、상대오차소우0.5％.
