实验室研究与探索
實驗室研究與探索
실험실연구여탐색
LAABORATORY REESEARCH AND EXPLORATION
2014年
8期
10-13
,共4页
李文坡%左秀丽%张胜涛%郑嘉%吕堂满
李文坡%左秀麗%張勝濤%鄭嘉%呂堂滿
리문파%좌수려%장성도%정가%려당만
椭圆偏振%解析技术%光学模型%锰%电沉积
橢圓偏振%解析技術%光學模型%錳%電沉積
타원편진%해석기술%광학모형%맹%전침적
ellipsometry%analysis%optical model%manganese%electrodeposition
采用原位椭圆偏振法测量Mn在Au电极上阴极恒电流沉积过程,分别建立单层膜模型和有效介质膜模型对椭圆偏振测量参数进行拟合.解析结果发现,均方差值(MSE)不是唯一判断的依据,结合扫描电镜结果得到单层膜模型更适合模拟Mn恒电流沉积的动态过程,由单层膜模型可推测Mn的沉积过程为逐层沉积.由于Mn的消光影响,椭圆偏振技术只适合沉积初始阶段的原位测量.
採用原位橢圓偏振法測量Mn在Au電極上陰極恆電流沉積過程,分彆建立單層膜模型和有效介質膜模型對橢圓偏振測量參數進行擬閤.解析結果髮現,均方差值(MSE)不是唯一判斷的依據,結閤掃描電鏡結果得到單層膜模型更適閤模擬Mn恆電流沉積的動態過程,由單層膜模型可推測Mn的沉積過程為逐層沉積.由于Mn的消光影響,橢圓偏振技術隻適閤沉積初始階段的原位測量.
채용원위타원편진법측량Mn재Au전겁상음겁항전류침적과정,분별건립단층막모형화유효개질막모형대타원편진측량삼수진행의합.해석결과발현,균방차치(MSE)불시유일판단적의거,결합소묘전경결과득도단층막모형경괄합모의Mn항전류침적적동태과정,유단층막모형가추측Mn적침적과정위축층침적.유우Mn적소광영향,타원편진기술지괄합침적초시계단적원위측량.
