红外与毫米波学报
紅外與毫米波學報
홍외여호미파학보
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
2014年
4期
426-429
,共4页
杨伟%梁继然%姬扬%刘剑
楊偉%樑繼然%姬颺%劉劍
양위%량계연%희양%류검
二氧化钒薄膜%电学方法%光学方法%同步测量%反射率
二氧化釩薄膜%電學方法%光學方法%同步測量%反射率
이양화범박막%전학방법%광학방법%동보측량%반사솔
vanadium oxide film%electrical method%optical method%simultaneous measurement%reflectivity
利用射频磁控溅射方法在蓝宝石衬底上制备了氧化钒薄膜,X射线衍射的测量结果表明薄膜的主要成分是多晶二氧化钒.实现了二氧化钒薄膜半导体-金属相变过程的电阻和五个不同波长下薄膜反射率的同步测量.实验结果表明,电学和光学测量都在相变过程中出现回滞曲线,但是二者的表现形式有明显差别.当用光学方法探测时,同一次相变过程中不同区域的反射率曲线几乎完全重合,证明了薄膜样品的均匀性.
利用射頻磁控濺射方法在藍寶石襯底上製備瞭氧化釩薄膜,X射線衍射的測量結果錶明薄膜的主要成分是多晶二氧化釩.實現瞭二氧化釩薄膜半導體-金屬相變過程的電阻和五箇不同波長下薄膜反射率的同步測量.實驗結果錶明,電學和光學測量都在相變過程中齣現迴滯麯線,但是二者的錶現形式有明顯差彆.噹用光學方法探測時,同一次相變過程中不同區域的反射率麯線幾乎完全重閤,證明瞭薄膜樣品的均勻性.
이용사빈자공천사방법재람보석츤저상제비료양화범박막,X사선연사적측량결과표명박막적주요성분시다정이양화범.실현료이양화범박막반도체-금속상변과정적전조화오개불동파장하박막반사솔적동보측량.실험결과표명,전학화광학측량도재상변과정중출현회체곡선,단시이자적표현형식유명현차별.당용광학방법탐측시,동일차상변과정중불동구역적반사솔곡선궤호완전중합,증명료박막양품적균균성.
