红外与毫米波学报
紅外與毫米波學報
홍외여호미파학보
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
2014年
4期
359-363
,共5页
张雷博%侯云%周炜%黄志明%褚君浩
張雷博%侯雲%週煒%黃誌明%褚君浩
장뢰박%후운%주위%황지명%저군호
锰钴镍氧薄膜%热敏材料%线列焦平面
錳鈷鎳氧薄膜%熱敏材料%線列焦平麵
맹고얼양박막%열민재료%선렬초평면
MnCoNiO thin film%bolometer material%linear focal plane array
通过光刻和湿化学腐蚀工艺,成功制作出规格为2×8的多元锰钴镍氧薄膜红外探测器件.测试表明,室温下锰钴镍氧薄膜材料负电阻温度系数达-3.8％K-1.10 Hz调制频率和±15 V电压偏置条件下,线列器件典型探测元黑体响应率为107 V/W,探测率为2×107cmHz1/2/W,8元器件响应不均匀度为5.9％.实验结果表明锰钴镍氧薄膜焦平面器件制备的可行性,有可能作为新型室温全波段探测器件得到应用.
通過光刻和濕化學腐蝕工藝,成功製作齣規格為2×8的多元錳鈷鎳氧薄膜紅外探測器件.測試錶明,室溫下錳鈷鎳氧薄膜材料負電阻溫度繫數達-3.8％K-1.10 Hz調製頻率和±15 V電壓偏置條件下,線列器件典型探測元黑體響應率為107 V/W,探測率為2×107cmHz1/2/W,8元器件響應不均勻度為5.9％.實驗結果錶明錳鈷鎳氧薄膜焦平麵器件製備的可行性,有可能作為新型室溫全波段探測器件得到應用.
통과광각화습화학부식공예,성공제작출규격위2×8적다원맹고얼양박막홍외탐측기건.측시표명,실온하맹고얼양박막재료부전조온도계수체-3.8％K-1.10 Hz조제빈솔화±15 V전압편치조건하,선렬기건전형탐측원흑체향응솔위107 V/W,탐측솔위2×107cmHz1/2/W,8원기건향응불균균도위5.9％.실험결과표명맹고얼양박막초평면기건제비적가행성,유가능작위신형실온전파단탐측기건득도응용.
