热喷涂技术
熱噴塗技術
열분도기술
THERMAL SPRAY TECHNOLOGY
2014年
3期
19-23
,共5页
张有茶%夏洋%贾永昌%张庆钊%王文东%刘金虎%王聪瑜
張有茶%夏洋%賈永昌%張慶釗%王文東%劉金虎%王聰瑜
장유다%하양%가영창%장경쇠%왕문동%류금호%왕총유
等离子体刻蚀%腔室内衬%悬浮液等离子喷涂%在线监测
等離子體刻蝕%腔室內襯%懸浮液等離子噴塗%在線鑑測
등리자체각식%강실내츤%현부액등리자분도%재선감측
干法刻蚀(等离子体刻蚀)技术产生的等离子体会对半导体制造工艺以及微电子IC制造工艺中的刻蚀腔室内衬产生腐蚀.本文综述了国内外腔室防等离子体腐蚀用材料的发展历程与现状,从耐等离子体刻蚀材料、悬浮液等离子喷涂技术和在线监测技术领域的发展展望了抗等离子体刻蚀涂层的未来发展趋势.
榦法刻蝕(等離子體刻蝕)技術產生的等離子體會對半導體製造工藝以及微電子IC製造工藝中的刻蝕腔室內襯產生腐蝕.本文綜述瞭國內外腔室防等離子體腐蝕用材料的髮展歷程與現狀,從耐等離子體刻蝕材料、懸浮液等離子噴塗技術和在線鑑測技術領域的髮展展望瞭抗等離子體刻蝕塗層的未來髮展趨勢.
간법각식(등리자체각식)기술산생적등리자체회대반도체제조공예이급미전자IC제조공예중적각식강실내츤산생부식.본문종술료국내외강실방등리자체부식용재료적발전역정여현상,종내등리자체각식재료、현부액등리자분도기술화재선감측기술영역적발전전망료항등리자체각식도층적미래발전추세.
