电工技术学报
電工技術學報
전공기술학보
TRANSACTIONS OF CHINA ELECTROTECHNICAL SOCIETY
2014年
8期
187-195
,共9页
陈桂涛%刘春强%孙强%钟彦儒%尹忠刚
陳桂濤%劉春彊%孫彊%鐘彥儒%尹忠剛
진계도%류춘강%손강%종언유%윤충강
前馈控制%恒流源%等离子体负载%输出导纳
前饋控製%恆流源%等離子體負載%輸齣導納
전궤공제%항류원%등리자체부재%수출도납
Feedforward control%constant current source%plasma load%output admittance
为抑制负载扰动对恒流控制的影响,针对等离子体负载需求,提出一种基于前馈控制的等离子体电源恒流控制策略.首先根据恒流源的开环传递矩阵,探讨输出导纳对恒流电源负载扰动的影响机理,然后在分析等离子体负载模型以及电弧放电所带来的负载扰动问题的基础上,将电压前馈控制引入电流闭环中.从降低恒流控制变换器的等效导纳的角度,进行电压前馈补偿函数的设计,并分析负载模型参数对前馈补偿函数的影响,对比引入电压前馈控制前后负载扰动的噪声衰减情况.仿真和实验结果表明,基于前馈控制的等离子体电源恒流控制策略能有效抑制等离子体负载突变对恒流输出的扰动,改善了恒流控制系统的动态响应性能,并对减少溅射镀层缺陷、提高膜层质量有良好的效果.
為抑製負載擾動對恆流控製的影響,針對等離子體負載需求,提齣一種基于前饋控製的等離子體電源恆流控製策略.首先根據恆流源的開環傳遞矩陣,探討輸齣導納對恆流電源負載擾動的影響機理,然後在分析等離子體負載模型以及電弧放電所帶來的負載擾動問題的基礎上,將電壓前饋控製引入電流閉環中.從降低恆流控製變換器的等效導納的角度,進行電壓前饋補償函數的設計,併分析負載模型參數對前饋補償函數的影響,對比引入電壓前饋控製前後負載擾動的譟聲衰減情況.倣真和實驗結果錶明,基于前饋控製的等離子體電源恆流控製策略能有效抑製等離子體負載突變對恆流輸齣的擾動,改善瞭恆流控製繫統的動態響應性能,併對減少濺射鍍層缺陷、提高膜層質量有良好的效果.
위억제부재우동대항류공제적영향,침대등리자체부재수구,제출일충기우전궤공제적등리자체전원항류공제책략.수선근거항류원적개배전체구진,탐토수출도납대항류전원부재우동적영향궤리,연후재분석등리자체부재모형이급전호방전소대래적부재우동문제적기출상,장전압전궤공제인입전류폐배중.종강저항류공제변환기적등효도납적각도,진행전압전궤보상함수적설계,병분석부재모형삼수대전궤보상함수적영향,대비인입전압전궤공제전후부재우동적조성쇠감정황.방진화실험결과표명,기우전궤공제적등리자체전원항류공제책략능유효억제등리자체부재돌변대항류수출적우동,개선료항류공제계통적동태향응성능,병대감소천사도층결함、제고막층질량유량호적효과.
