材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2014年
19期
104-110
,共7页
钢笔纳米刻蚀技术%原子力显微镜%电化学FPN技术
鋼筆納米刻蝕技術%原子力顯微鏡%電化學FPN技術
강필납미각식기술%원자력현미경%전화학FPN기술
fountain pen nanolithography%AFM%electrochemical FPN
钢笔纳米刻蚀技术(Fountain pen nanolithography,FPN)是近年来发展起来的一种新型的基于原子力显微镜(Atomic force microscope,AFM)的扫描探针刻蚀技术,具有加工结构精度高、加工过程操作性强、对加工环境要求低、持续书写等优点.FPN刻蚀过程主要受探针的孔径大小、空气湿度、接触时间、书写速度、墨水的特性等因素影响.在介绍FPN相关原理及影响因素的基础上,综合介绍了包括电化学FPN技术(Electrochemical FPN,EcFPN)和主动控制技术FPN(Active FPN,AFPN)在内的FPN相关技术研究的最新成果及其在生物领域、微电子领域和光学器件方面的相关应用.
鋼筆納米刻蝕技術(Fountain pen nanolithography,FPN)是近年來髮展起來的一種新型的基于原子力顯微鏡(Atomic force microscope,AFM)的掃描探針刻蝕技術,具有加工結構精度高、加工過程操作性彊、對加工環境要求低、持續書寫等優點.FPN刻蝕過程主要受探針的孔徑大小、空氣濕度、接觸時間、書寫速度、墨水的特性等因素影響.在介紹FPN相關原理及影響因素的基礎上,綜閤介紹瞭包括電化學FPN技術(Electrochemical FPN,EcFPN)和主動控製技術FPN(Active FPN,AFPN)在內的FPN相關技術研究的最新成果及其在生物領域、微電子領域和光學器件方麵的相關應用.
강필납미각식기술(Fountain pen nanolithography,FPN)시근년래발전기래적일충신형적기우원자력현미경(Atomic force microscope,AFM)적소묘탐침각식기술,구유가공결구정도고、가공과정조작성강、대가공배경요구저、지속서사등우점.FPN각식과정주요수탐침적공경대소、공기습도、접촉시간、서사속도、묵수적특성등인소영향.재개소FPN상관원리급영향인소적기출상,종합개소료포괄전화학FPN기술(Electrochemical FPN,EcFPN)화주동공제기술FPN(Active FPN,AFPN)재내적FPN상관기술연구적최신성과급기재생물영역、미전자영역화광학기건방면적상관응용.
