自动化与仪表
自動化與儀錶
자동화여의표
AUTOMATION AND INSTRUMENTATION
2014年
10期
4-7
,共4页
徐加彦%张之万%陈兴林%张广莹
徐加彥%張之萬%陳興林%張廣瑩
서가언%장지만%진흥림%장엄형
光刻机工件台%高速串行链路%通信协议%FPGA
光刻機工件檯%高速串行鏈路%通信協議%FPGA
광각궤공건태%고속천행련로%통신협의%FPGA
lithography wafer stage%high-speed serial Link (HSSL)%communication protocol%FPGA
光刻机工件台控制系统是一种典型的分布式控制系统,定位精度和运动精度要求达到纳米级,其复杂的控制系统要求具有强实时性和高度同步性.针对上述特点,该文设计了一种基于光纤通信的高速串行链路(HSSL)互联方案.该设计中自定义光纤传输通信协议,包括数据帧、应答帧、触发帧.并通过FPGA编程实现光纤传输通信协议.通过实验表明,该光纤通信传输数据具有正确性、高可靠性、抗电磁能力强等特点,具有重要的工程应用价值.
光刻機工件檯控製繫統是一種典型的分佈式控製繫統,定位精度和運動精度要求達到納米級,其複雜的控製繫統要求具有彊實時性和高度同步性.針對上述特點,該文設計瞭一種基于光纖通信的高速串行鏈路(HSSL)互聯方案.該設計中自定義光纖傳輸通信協議,包括數據幀、應答幀、觸髮幀.併通過FPGA編程實現光纖傳輸通信協議.通過實驗錶明,該光纖通信傳輸數據具有正確性、高可靠性、抗電磁能力彊等特點,具有重要的工程應用價值.
광각궤공건태공제계통시일충전형적분포식공제계통,정위정도화운동정도요구체도납미급,기복잡적공제계통요구구유강실시성화고도동보성.침대상술특점,해문설계료일충기우광섬통신적고속천행련로(HSSL)호련방안.해설계중자정의광섬전수통신협의,포괄수거정、응답정、촉발정.병통과FPGA편정실현광섬전수통신협의.통과실험표명,해광섬통신전수수거구유정학성、고가고성、항전자능력강등특점,구유중요적공정응용개치.
