西安交通大学学报
西安交通大學學報
서안교통대학학보
JOURNAL OF XI'AN JIAOTONG UNIVERSITY
2014年
10期
1-8,48
,共9页
李昕%郭士西%宋辉%李全福%师俊杰%方明%王小力%刘卫华
李昕%郭士西%宋輝%李全福%師俊傑%方明%王小力%劉衛華
리흔%곽사서%송휘%리전복%사준걸%방명%왕소력%류위화
石墨烯晶体管%禁带%截止频率%最大振荡频率%柔性晶体管
石墨烯晶體管%禁帶%截止頻率%最大振盪頻率%柔性晶體管
석묵희정체관%금대%절지빈솔%최대진탕빈솔%유성정체관
graphene transistors%bandgap%cutoff frequency%maximum oscillation frequency%flexibility transistors
针对集成电路的特征尺寸小于10 nm以下所面临的短沟道效应、隧道效应和制造工艺限制困难引发的研究热点——石墨烯能否替代硅,着重从数字晶体管、射频晶体管和柔性透明晶体管3个方面概括和分析了新型石墨烯晶体管的发展现状.分析认为:石墨烯平行纳米带阵列结构和异质结结构有望打开石墨烯禁带以实现大的电流开关比,将是石墨烯数字晶体管的研究热点;通过降低接触电阻、接入电阻以及衬底、栅介质的匹配来提高截止频率和最大振荡频率将是石墨烯射频晶体管的主要发展趋势;基于聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)衬底和离子凝胶栅介质的柔性制造技术,最有希望在保证石墨烯高迁移率的基础之上实现全石墨烯透明柔性电路,使石墨烯晶体管得以实用,必将对集成电路行业产生巨大影响.
針對集成電路的特徵呎吋小于10 nm以下所麵臨的短溝道效應、隧道效應和製造工藝限製睏難引髮的研究熱點——石墨烯能否替代硅,著重從數字晶體管、射頻晶體管和柔性透明晶體管3箇方麵概括和分析瞭新型石墨烯晶體管的髮展現狀.分析認為:石墨烯平行納米帶陣列結構和異質結結構有望打開石墨烯禁帶以實現大的電流開關比,將是石墨烯數字晶體管的研究熱點;通過降低接觸電阻、接入電阻以及襯底、柵介質的匹配來提高截止頻率和最大振盪頻率將是石墨烯射頻晶體管的主要髮展趨勢;基于聚對苯二甲痠乙二醇酯(PET)襯底和離子凝膠柵介質的柔性製造技術,最有希望在保證石墨烯高遷移率的基礎之上實現全石墨烯透明柔性電路,使石墨烯晶體管得以實用,必將對集成電路行業產生巨大影響.
침대집성전로적특정척촌소우10 nm이하소면림적단구도효응、수도효응화제조공예한제곤난인발적연구열점——석묵희능부체대규,착중종수자정체관、사빈정체관화유성투명정체관3개방면개괄화분석료신형석묵희정체관적발전현상.분석인위:석묵희평행납미대진렬결구화이질결결구유망타개석묵희금대이실현대적전류개관비,장시석묵희수자정체관적연구열점;통과강저접촉전조、접입전조이급츤저、책개질적필배래제고절지빈솔화최대진탕빈솔장시석묵희사빈정체관적주요발전추세;기우취대분이갑산을이순지(PET)츤저화리자응효책개질적유성제조기술,최유희망재보증석묵희고천이솔적기출지상실현전석묵희투명유성전로,사석묵희정체관득이실용,필장대집성전로행업산생거대영향.
