电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2014年
10期
33-37
,共5页
双离子束%溅射镀膜机%维修性分配%维修性预计
雙離子束%濺射鍍膜機%維脩性分配%維脩性預計
쌍리자속%천사도막궤%유수성분배%유수성예계
DIBS (Dualion beam ssputter)%Sputter%Maintainability allocation%Maintainability prediction
分析了双离子束溅射镀膜机的设备原理、功能层次，参照《G JB/Z 57维修性分配与预计手册》中的相关要求，根据各部件的故障率和维修经验数据，对双离子束溅射镀膜机进行维修性分配与预计。
分析瞭雙離子束濺射鍍膜機的設備原理、功能層次，參照《G JB/Z 57維脩性分配與預計手冊》中的相關要求，根據各部件的故障率和維脩經驗數據，對雙離子束濺射鍍膜機進行維脩性分配與預計。
분석료쌍리자속천사도막궤적설비원리、공능층차，삼조《G JB/Z 57유수성분배여예계수책》중적상관요구，근거각부건적고장솔화유수경험수거，대쌍리자속천사도막궤진행유수성분배여예계。
Dualion beam ssputter?s principle and functions hierarchy are analyzed,m aintainability allocation and prediction of dual ion beam s sputter are introduced based on the empirical data of repair time and failure rate according to GJB/Z 57.
