贵金属
貴金屬
귀금속
PRECIOUS METALS
2014年
z1期
115-121
,共7页
蔡宏中%吴霏%安盈志%常桥稳%胡昌义%刘伟平%陈力
蔡宏中%吳霏%安盈誌%常橋穩%鬍昌義%劉偉平%陳力
채굉중%오비%안영지%상교은%호창의%류위평%진력
三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)酸钌(III)%合成%结构特征
三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)痠釕(III)%閤成%結構特徵
삼(2,2,6,6-사갑기-3,5-경이동)산조(III)%합성%결구특정
tris(2,2,6,6- tetramethyl-3,5-heptanedionato) ruthenium%synthesis%chemical structure
以三氯化钌和2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮为原料，在甲醇中合成了β-二酮前驱体-三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)酸钌(III)。通过元素分析、红外光谱、核磁共振谱、紫外-可见光谱等对其进行了表征，确定了配合物的结构组成。采用 TG-DTA 分析了配合物在空气和氮气中的热分解行为，为MOCVD 镀钌和钌的氧化物薄膜工艺提供热力学数据与参考。
以三氯化釕和2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮為原料，在甲醇中閤成瞭β-二酮前驅體-三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)痠釕(III)。通過元素分析、紅外光譜、覈磁共振譜、紫外-可見光譜等對其進行瞭錶徵，確定瞭配閤物的結構組成。採用 TG-DTA 分析瞭配閤物在空氣和氮氣中的熱分解行為，為MOCVD 鍍釕和釕的氧化物薄膜工藝提供熱力學數據與參攷。
이삼록화조화2,2,6,6-사갑기-3,5-경이동위원료，재갑순중합성료β-이동전구체-삼(2,2,6,6-사갑기-3,5-경이동)산조(III)。통과원소분석、홍외광보、핵자공진보、자외-가견광보등대기진행료표정，학정료배합물적결구조성。채용 TG-DTA 분석료배합물재공기화담기중적열분해행위，위MOCVD 도조화조적양화물박막공예제공열역학수거여삼고。
A precursor, tris(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionato ) ruthenium (Ru(thd)3) was synthesized from RuCl3 and Hthd in methanol. The structure of Ru(thd)3 was characterized by element analysis, infrared spectroscopy, NMR spectroscopy and UV-vis spectrum. The thermal decomposition behavior was studied by TG-DTA analysis under air and nitrogen. The results provided the thermodynamic data and reference for preparing ruthenium and ruthenium oxide thin film by MOCVD from Ru(thd)3.
