现代制造工程
現代製造工程
현대제조공정
MODERN MANUFACTURING ENGINEERING
2014年
10期
5-9,34
,共6页
微细电解铣削%微电极%三维微结构
微細電解鐉削%微電極%三維微結構
미세전해선삭%미전겁%삼유미결구
micro electrochemical milling%micro electrode%three-dimensional micro structures
随着微机电系统的发展，微细加工技术成为了当今世界的研究热点。对微细电解铣削加工技术进行了深入研究，在难加工材料镍基高温合金上进行了一系列微细电解铣削加工工艺试验。首先，基于微细电解铣削加工原理，自行研制了一套高精度微细电解铣削加工系统。其次，分组试验并分析了各主要参数，如铣削层厚度、加工电压、脉冲宽度、电极直径，以及电解液浓度等对形状精度和加工精度的影响规律。最后，通过优化加工参数，成功加工出了数个典型三维平面及曲面微结构，形状精度高，加工稳定性好，充分展现了微细电解铣削工艺在加工复杂金属微结构方面的巨大潜力。
隨著微機電繫統的髮展，微細加工技術成為瞭噹今世界的研究熱點。對微細電解鐉削加工技術進行瞭深入研究，在難加工材料鎳基高溫閤金上進行瞭一繫列微細電解鐉削加工工藝試驗。首先，基于微細電解鐉削加工原理，自行研製瞭一套高精度微細電解鐉削加工繫統。其次，分組試驗併分析瞭各主要參數，如鐉削層厚度、加工電壓、脈遲寬度、電極直徑，以及電解液濃度等對形狀精度和加工精度的影響規律。最後，通過優化加工參數，成功加工齣瞭數箇典型三維平麵及麯麵微結構，形狀精度高，加工穩定性好，充分展現瞭微細電解鐉削工藝在加工複雜金屬微結構方麵的巨大潛力。
수착미궤전계통적발전，미세가공기술성위료당금세계적연구열점。대미세전해선삭가공기술진행료심입연구，재난가공재료얼기고온합금상진행료일계렬미세전해선삭가공공예시험。수선，기우미세전해선삭가공원리，자행연제료일투고정도미세전해선삭가공계통。기차，분조시험병분석료각주요삼수，여선삭층후도、가공전압、맥충관도、전겁직경，이급전해액농도등대형상정도화가공정도적영향규률。최후，통과우화가공삼수，성공가공출료수개전형삼유평면급곡면미결구，형상정도고，가공은정성호，충분전현료미세전해선삭공예재가공복잡금속미결구방면적거대잠력。
With the development of Micro-Electro-Mechanical System(MEMS),micro machining techniques have become a hot issue in modern industry.Micro electrochemical milling is proposed as a new micro machining technology to fabricate 3D micro structures on hard-to-cut materials.An electrochemical micro milling system with high precision is established;sets of experiments have been carried out to investigate the influence of some of the predominant electrochemical process parameters such as layer thickness,applied voltage,pulse width,electrode diameter,and concentration of electrolyte on shape and machining accuracy;some 3D complex micro structures with physical dimension of several micrometers have been obtained .
