太阳能
太暘能
태양능
SOLAR ENERGY
2014年
9期
16-17
,共2页
Yoshiyuki Kubo%Yoshinori Iwabuchi%Masato Yoshikawa%范崇治
Yoshiyuki Kubo%Yoshinori Iwabuchi%Masato Yoshikawa%範崇治
Yoshiyuki Kubo%Yoshinori Iwabuchi%Masato Yoshikawa%범숭치
空心阴极气流溅射%沉积%光催化%TiO2
空心陰極氣流濺射%沉積%光催化%TiO2
공심음겁기류천사%침적%광최화%TiO2
光催化剂TiO2薄膜是用两个平行Ti靶的空心阴极气流溅射方法沉积而成,氩气和氧气流量分别是3000 sccm和0～ 50 sccm,在沉积过程中总气压维持在45 Pa.在氧气流量为30 sccm时,TiO2膜最大沉积率为162 nm/min,之后在空气中300℃,1h进行退火工艺,用来作光催化分解乙醛(CH3CHO),和一般反应溅射相比,后退火膜显示出非常高的光催化作用.
光催化劑TiO2薄膜是用兩箇平行Ti靶的空心陰極氣流濺射方法沉積而成,氬氣和氧氣流量分彆是3000 sccm和0～ 50 sccm,在沉積過程中總氣壓維持在45 Pa.在氧氣流量為30 sccm時,TiO2膜最大沉積率為162 nm/min,之後在空氣中300℃,1h進行退火工藝,用來作光催化分解乙醛(CH3CHO),和一般反應濺射相比,後退火膜顯示齣非常高的光催化作用.
광최화제TiO2박막시용량개평행Ti파적공심음겁기류천사방법침적이성,아기화양기류량분별시3000 sccm화0～ 50 sccm,재침적과정중총기압유지재45 Pa.재양기류량위30 sccm시,TiO2막최대침적솔위162 nm/min,지후재공기중300℃,1h진행퇴화공예,용래작광최화분해을철(CH3CHO),화일반반응천사상비,후퇴화막현시출비상고적광최화작용.
