工具技术
工具技術
공구기술
TOOL ENGINEERING
2014年
9期
86-87
,共2页
不规则表面%抛光%微小去除量%测量
不規則錶麵%拋光%微小去除量%測量
불규칙표면%포광%미소거제량%측량
irregular surfaces%fixed abrasive CMP%micro-remove of material%measurement
现代加工精度不断提高,常需对材料的微小去除量进行测量.本文针对固结磨粒超精密抛光硅片时,出现不规则加工表面形状的材料去除量测量问题,采用一种常见的表面粗糙度测量仪,在完成硅片表面粗糙度测量的同时,对其表面形貌进行测量.然后用AutoCAD对加工表面的形状图形进行处理,得到抛光截面面积大小,进而通过计算得出材料去除量.实验证明该方法快速准确,较好地解决了实验过程材料微小去除量测量的难点和准确性问题.
現代加工精度不斷提高,常需對材料的微小去除量進行測量.本文針對固結磨粒超精密拋光硅片時,齣現不規則加工錶麵形狀的材料去除量測量問題,採用一種常見的錶麵粗糙度測量儀,在完成硅片錶麵粗糙度測量的同時,對其錶麵形貌進行測量.然後用AutoCAD對加工錶麵的形狀圖形進行處理,得到拋光截麵麵積大小,進而通過計算得齣材料去除量.實驗證明該方法快速準確,較好地解決瞭實驗過程材料微小去除量測量的難點和準確性問題.
현대가공정도불단제고,상수대재료적미소거제량진행측량.본문침대고결마립초정밀포광규편시,출현불규칙가공표면형상적재료거제량측량문제,채용일충상견적표면조조도측량의,재완성규편표면조조도측량적동시,대기표면형모진행측량.연후용AutoCAD대가공표면적형상도형진행처리,득도포광절면면적대소,진이통과계산득출재료거제량.실험증명해방법쾌속준학,교호지해결료실험과정재료미소거제량측량적난점화준학성문제.
