军民两用技术与产品
軍民兩用技術與產品
군민량용기술여산품
UNIVERSAL TECHNOLOGIES & PRODUCTS
2014年
9期
128-128,130
,共2页
新型专利产品%精抛机导轮%设计结构
新型專利產品%精拋機導輪%設計結構
신형전리산품%정포궤도륜%설계결구
本实用新型属于硅抛光片设备领域，主要涉及一种精抛机导轮。本实用新型简化了结构设计，在使用中降低了硅片抛光生产中产生颗粒等污染物的概率，对提高单晶硅抛光片的品质有了重要的影响。也更便于维护、保养、修理，降低了使用成本，提高了工作效率。
本實用新型屬于硅拋光片設備領域，主要涉及一種精拋機導輪。本實用新型簡化瞭結構設計，在使用中降低瞭硅片拋光生產中產生顆粒等汙染物的概率，對提高單晶硅拋光片的品質有瞭重要的影響。也更便于維護、保養、脩理，降低瞭使用成本，提高瞭工作效率。
본실용신형속우규포광편설비영역，주요섭급일충정포궤도륜。본실용신형간화료결구설계，재사용중강저료규편포광생산중산생과립등오염물적개솔，대제고단정규포광편적품질유료중요적영향。야경편우유호、보양、수리，강저료사용성본，제고료공작효솔。
