电子元件与材料
電子元件與材料
전자원건여재료
ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
2014年
11期
1-4
,共4页
LTCC%微流控系统%综述%微通道%制作%内埋置
LTCC%微流控繫統%綜述%微通道%製作%內埋置
LTCC%미류공계통%종술%미통도%제작%내매치
LTCC%microfluidic device%review%microfluidics%fabrication%embedded
介绍了LTCC腔体和微流道的用途、结构形式以及腔体的制作方法。详细分析了LTCC空腔在层压和共烧时产生变形的原因。介绍了采用碳基牺牲材料以及无牺牲材料形成内埋置通道的方法。最后介绍了LTCC微流控系统在水质检测中的应用。
介紹瞭LTCC腔體和微流道的用途、結構形式以及腔體的製作方法。詳細分析瞭LTCC空腔在層壓和共燒時產生變形的原因。介紹瞭採用碳基犧牲材料以及無犧牲材料形成內埋置通道的方法。最後介紹瞭LTCC微流控繫統在水質檢測中的應用。
개소료LTCC강체화미류도적용도、결구형식이급강체적제작방법。상세분석료LTCC공강재층압화공소시산생변형적원인。개소료채용탄기희생재료이급무희생재료형성내매치통도적방법。최후개소료LTCC미류공계통재수질검측중적응용。
Briefly introduce the structure and the application of LTCC cavity and microfluidics, as well as the fabrication method. Analyze the reason of LTCC cavity deformation when it is laminated and sintered. Expound the method of controlling cavity deformation with filling carbon sacrificial material, and progressive lamination process with no additional fugitive material. An example on LTCC meso-analytical system for chloride ion determination in drinking waters is introduced.
