离子束刻蚀碲镉汞中转型宽度
리자속각식제력홍중전형관도
Conductivity type conversion in ion-beam-milled HgCdTe
  • 万方数据
    红外与毫米波学报 홍외여호미파학보
    JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
    2014年 5期 477-480 ,共4页

    徐国庆%刘向阳%王仍%储开慧%汤亦聃%乔辉%贾嘉%李向阳

    서국경%류향양%왕잉%저개혜%탕역담%교휘%가가%리향양

    激光诱导电流%p型HgCdTe%Ar+离子束刻蚀%转型宽度 激光誘導電流%p型HgCdTe%Ar+離子束刻蝕%轉型寬度
    격광유도전류%p형HgCdTe%Ar+리자속각식%전형관도
    laser beam induced current%p-HgCdTe%Ar+ ion-beam milling%conductivity type conversion
    用Ar+离子束在p型HgCdTe(碲镉汞)上刻蚀出不同体积的环孔,利用激光诱导电流方法测试转型后的n区宽度.研究发现,在相同的刻蚀条件下,n区宽度取决于材料的汞空位浓度和被刻蚀HgCdTe体积.当被刻蚀HgCdTe体积相同时,n区宽度随汞空位浓度的增加呈线性减小;当汞空位浓度一定时,n区宽度随被刻蚀HgCdTe体积的增加呈线性增加.
    용Ar+리자속재p형HgCdTe(제력홍)상각식출불동체적적배공,이용격광유도전류방법측시전형후적n구관도.연구발현,재상동적각식조건하,n구관도취결우재료적홍공위농도화피각식HgCdTe체적.당피각식HgCdTe체적상동시,n구관도수홍공위농도적증가정선성감소;당홍공위농도일정시,n구관도수피각식HgCdTe체적적증가정선성증가.
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