高电压技术
高電壓技術
고전압기술
HIGH VOLTAGE ENGINEERING
2014年
10期
2997-3005
,共9页
大气压气体放电%射频微等离子体%放电结构%粒子模拟%二次电子%电子能量概率函数
大氣壓氣體放電%射頻微等離子體%放電結構%粒子模擬%二次電子%電子能量概率函數
대기압기체방전%사빈미등리자체%방전결구%입자모의%이차전자%전자능량개솔함수
atmospheric pressure discharges%radio-frequency microplasma%discharge structures%PIC-MCC simulation%secondary electrons%electron energy probability function
大气压射频微等离子体放电具有较大的潜在应用价值,但实验研究较困难.为此借助于粒子模拟的方法,在给定的放电间隙下,研究了电流密度及二次电子发射系数(SEEC)对射频微等离子体的放电结构的影响.模拟结果表明,随着输入电流密度的增大,放电空间逐渐由鞘层主导的结构转变为辉光放电结构,电子密度也会随之增大,鞘层电场逐渐增强,同时电子能量概率函数(EEPF)曲线会随之整体向上偏移;而在给定的电流密度下,随着SEEC的增大,放电结构也会逐渐由鞘层主导的结构转变为辉光放电的结构,电子密度会随之增大,同时鞘层电场会逐渐变小,高能电子(＞20 eV)比例也随之减小.最后分析了在大间隙下出现鞘层主导结构的可能性.
大氣壓射頻微等離子體放電具有較大的潛在應用價值,但實驗研究較睏難.為此藉助于粒子模擬的方法,在給定的放電間隙下,研究瞭電流密度及二次電子髮射繫數(SEEC)對射頻微等離子體的放電結構的影響.模擬結果錶明,隨著輸入電流密度的增大,放電空間逐漸由鞘層主導的結構轉變為輝光放電結構,電子密度也會隨之增大,鞘層電場逐漸增彊,同時電子能量概率函數(EEPF)麯線會隨之整體嚮上偏移;而在給定的電流密度下,隨著SEEC的增大,放電結構也會逐漸由鞘層主導的結構轉變為輝光放電的結構,電子密度會隨之增大,同時鞘層電場會逐漸變小,高能電子(＞20 eV)比例也隨之減小.最後分析瞭在大間隙下齣現鞘層主導結構的可能性.
대기압사빈미등리자체방전구유교대적잠재응용개치,단실험연구교곤난.위차차조우입자모의적방법,재급정적방전간극하,연구료전류밀도급이차전자발사계수(SEEC)대사빈미등리자체적방전결구적영향.모의결과표명,수착수입전류밀도적증대,방전공간축점유초층주도적결구전변위휘광방전결구,전자밀도야회수지증대,초층전장축점증강,동시전자능량개솔함수(EEPF)곡선회수지정체향상편이;이재급정적전류밀도하,수착SEEC적증대,방전결구야회축점유초층주도적결구전변위휘광방전적결구,전자밀도회수지증대,동시초층전장회축점변소,고능전자(＞20 eV)비례야수지감소.최후분석료재대간극하출현초층주도결구적가능성.
