景德镇高专学报
景德鎮高專學報
경덕진고전학보
JOURNAL OF JINGDEZHEN COLLEGE
2013年
6期
18-19
,共2页
ZnO薄膜%制备方法%表征方法
ZnO薄膜%製備方法%錶徵方法
ZnO박막%제비방법%표정방법
本文介绍了ZnO薄膜的几种主要的制备方法，有脉冲激光沉积法、溶胶一凝胶法和磁控溅射法，再对所制薄膜的表征方法进行介绍，有X射线衍射分析、SEM分析、薄膜光学性质分析、四探针法、原子力显微镜。
本文介紹瞭ZnO薄膜的幾種主要的製備方法，有脈遲激光沉積法、溶膠一凝膠法和磁控濺射法，再對所製薄膜的錶徵方法進行介紹，有X射線衍射分析、SEM分析、薄膜光學性質分析、四探針法、原子力顯微鏡。
본문개소료ZnO박막적궤충주요적제비방법，유맥충격광침적법、용효일응효법화자공천사법，재대소제박막적표정방법진행개소，유X사선연사분석、SEM분석、박막광학성질분석、사탐침법、원자력현미경。
