科学与财富
科學與財富
과학여재부
SCIENCES & WEALTH
2014年
11期
117-117,118
,共2页
王岩%陆建刚%李延辉
王巖%陸建剛%李延輝
왕암%륙건강%리연휘
ITO残留%单层多点TP%退火%草酸刻蚀%蓝光穿透率
ITO殘留%單層多點TP%退火%草痠刻蝕%藍光穿透率
ITO잔류%단층다점TP%퇴화%초산각식%람광천투솔
研究了单层多点TP产品工艺中ITO残留问题的解决方法。在现有清洗寅成膜寅图形寅刻蚀寅剥离寅退火这一系列工艺流程的基础上增加了一次退火和一步草酸刻蚀，此改进大大降低了ITO残留的可能性，并降低了电阻率，增大了蓝光穿透率，相对提高了产品的良率和性能。
研究瞭單層多點TP產品工藝中ITO殘留問題的解決方法。在現有清洗寅成膜寅圖形寅刻蝕寅剝離寅退火這一繫列工藝流程的基礎上增加瞭一次退火和一步草痠刻蝕，此改進大大降低瞭ITO殘留的可能性，併降低瞭電阻率，增大瞭藍光穿透率，相對提高瞭產品的良率和性能。
연구료단층다점TP산품공예중ITO잔류문제적해결방법。재현유청세인성막인도형인각식인박리인퇴화저일계렬공예류정적기출상증가료일차퇴화화일보초산각식，차개진대대강저료ITO잔류적가능성，병강저료전조솔，증대료람광천투솔，상대제고료산품적량솔화성능。
