南京航空航天大学学报
南京航空航天大學學報
남경항공항천대학학보
JOURNAL OF NANJING UNIVERSITY OF AERONAUTICS & ASTRONAUTICS
2014年
5期
804-809
,共6页
郑文书%郭钟宁%江树镇%陈日%罗红平
鄭文書%郭鐘寧%江樹鎮%陳日%囉紅平
정문서%곽종저%강수진%진일%라홍평
大面积微结构%均匀性%电化学沉积%侧壁陡直度%二次辅助阴极
大麵積微結構%均勻性%電化學沉積%側壁陡直度%二次輔助陰極
대면적미결구%균균성%전화학침적%측벽두직도%이차보조음겁
large area microstructures%uniformity%electrochemical deposition%sidewall angle%secondary auxiliary cathode
对精密模具大面积微结构的电铸制备工艺进行了研究.研究了掩膜厚度、化学微蚀刻、二次辅助阴极对精密模具大面积微结构电铸成型的影响.结果表明,化学微蚀刻能进一步去除显影残胶,提高镀层微结构与模具基板的结合力.在曝光时间为100 s,曝光能量为750～810 mJ/cm2的曝光工艺条件下,掩膜厚度在130～160 μm时,可以得到线宽为100 μm侧壁陡直度较好的精密模具微结构.采用外加电势的二次辅助阴极三电极电铸体系可以提高铸层的均匀性.
對精密模具大麵積微結構的電鑄製備工藝進行瞭研究.研究瞭掩膜厚度、化學微蝕刻、二次輔助陰極對精密模具大麵積微結構電鑄成型的影響.結果錶明,化學微蝕刻能進一步去除顯影殘膠,提高鍍層微結構與模具基闆的結閤力.在曝光時間為100 s,曝光能量為750～810 mJ/cm2的曝光工藝條件下,掩膜厚度在130～160 μm時,可以得到線寬為100 μm側壁陡直度較好的精密模具微結構.採用外加電勢的二次輔助陰極三電極電鑄體繫可以提高鑄層的均勻性.
대정밀모구대면적미결구적전주제비공예진행료연구.연구료엄막후도、화학미식각、이차보조음겁대정밀모구대면적미결구전주성형적영향.결과표명,화학미식각능진일보거제현영잔효,제고도층미결구여모구기판적결합력.재폭광시간위100 s,폭광능량위750～810 mJ/cm2적폭광공예조건하,엄막후도재130～160 μm시,가이득도선관위100 μm측벽두직도교호적정밀모구미결구.채용외가전세적이차보조음겁삼전겁전주체계가이제고주층적균균성.
