南京航空航天大学学报
南京航空航天大學學報
남경항공항천대학학보
JOURNAL OF NANJING UNIVERSITY OF AERONAUTICS & ASTRONAUTICS
2014年
5期
769-773
,共5页
蔡明霞%张朝阳%姜雨佳%苏纯%冯钦玉%黄磊
蔡明霞%張朝暘%薑雨佳%囌純%馮欽玉%黃磊
채명하%장조양%강우가%소순%풍흠옥%황뢰
局部电化学沉积%激光辐照%高宽比%定域性
跼部電化學沉積%激光輻照%高寬比%定域性
국부전화학침적%격광복조%고관비%정역성
localized electrochemical deposition%laser irradiation%aspect ratio%localization
在局部电化学沉积加工体系中引入纳秒脉冲激光,利用激光辐照和局部电化学沉积的方法对铜进行三维微结构的沉积试验.分析了激光的热力效应对局部电化学沉积的作用机理.构建了激光辅助局部电化学沉积的试验系统,进行了沉积试验,并利用扫描电子显微镜(Scanning electron microscope,SEM)和X射线能量色散色谱仪对电沉积体进行了检测.试验结果表明激光辅助局部电化学沉积相较于普通的局部电化学沉积,定域性好.随着激光能量的增加,沉积体的高宽比增加,定域性提高.同时,激光还可以减少阴极杂质的吸附,提高沉积体的纯度.
在跼部電化學沉積加工體繫中引入納秒脈遲激光,利用激光輻照和跼部電化學沉積的方法對銅進行三維微結構的沉積試驗.分析瞭激光的熱力效應對跼部電化學沉積的作用機理.構建瞭激光輔助跼部電化學沉積的試驗繫統,進行瞭沉積試驗,併利用掃描電子顯微鏡(Scanning electron microscope,SEM)和X射線能量色散色譜儀對電沉積體進行瞭檢測.試驗結果錶明激光輔助跼部電化學沉積相較于普通的跼部電化學沉積,定域性好.隨著激光能量的增加,沉積體的高寬比增加,定域性提高.同時,激光還可以減少陰極雜質的吸附,提高沉積體的純度.
재국부전화학침적가공체계중인입납초맥충격광,이용격광복조화국부전화학침적적방법대동진행삼유미결구적침적시험.분석료격광적열력효응대국부전화학침적적작용궤리.구건료격광보조국부전화학침적적시험계통,진행료침적시험,병이용소묘전자현미경(Scanning electron microscope,SEM)화X사선능량색산색보의대전침적체진행료검측.시험결과표명격광보조국부전화학침적상교우보통적국부전화학침적,정역성호.수착격광능량적증가,침적체적고관비증가,정역성제고.동시,격광환가이감소음겁잡질적흡부,제고침적체적순도.
