现代化工
現代化工
현대화공
MODERN CHEMICAL INDUSTRY
2014年
11期
14-18,20
,共6页
郑静%苏国良%黄国强%王国锋%潘金花
鄭靜%囌國良%黃國彊%王國鋒%潘金花
정정%소국량%황국강%왕국봉%반금화
多晶硅%四氯化硅%三氯氢硅%反歧化反应%氢化反应
多晶硅%四氯化硅%三氯氫硅%反歧化反應%氫化反應
다정규%사록화규%삼록경규%반기화반응%경화반응
polysilicon%silicon tetrachloride%trichlorosilane%disproportionation%hydrogenation
阐述了多晶硅行业的生产背景和现状,概述了由四氯化硅和二氯二氢硅反歧化反应制备三氯氢硅的反歧化方法和四氯化硅氢化制备三氯氢硅的氢化方法,氢化方法主要包括热氢化法、低温催化氢化法、冷氢化法、氯氢化法、等离子体氢化法等,重点归纳了新型氢化技术低温催化氢化法,并介绍了反歧化方法和多种氢化方法在多晶硅生产过程中的应用,通过对各种方法综合性的分类与讨论,指出了现存方法的优缺点,并对各种方法的应用前景进行了展望.
闡述瞭多晶硅行業的生產揹景和現狀,概述瞭由四氯化硅和二氯二氫硅反歧化反應製備三氯氫硅的反歧化方法和四氯化硅氫化製備三氯氫硅的氫化方法,氫化方法主要包括熱氫化法、低溫催化氫化法、冷氫化法、氯氫化法、等離子體氫化法等,重點歸納瞭新型氫化技術低溫催化氫化法,併介紹瞭反歧化方法和多種氫化方法在多晶硅生產過程中的應用,通過對各種方法綜閤性的分類與討論,指齣瞭現存方法的優缺點,併對各種方法的應用前景進行瞭展望.
천술료다정규행업적생산배경화현상,개술료유사록화규화이록이경규반기화반응제비삼록경규적반기화방법화사록화규경화제비삼록경규적경화방법,경화방법주요포괄열경화법、저온최화경화법、랭경화법、록경화법、등리자체경화법등,중점귀납료신형경화기술저온최화경화법,병개소료반기화방법화다충경화방법재다정규생산과정중적응용,통과대각충방법종합성적분류여토론,지출료현존방법적우결점,병대각충방법적응용전경진행료전망.
