控制理论与应用
控製理論與應用
공제이론여응용
CONTROL THEORY & APPLICATIONS
2014年
10期
1338-1351
,共14页
闫鹏%张震%郭雷%刘鹏博
閆鵬%張震%郭雷%劉鵬博
염붕%장진%곽뢰%류붕박
超精密伺服系统%微纳操控%鲁棒控制%抗干扰控制%内模控制
超精密伺服繫統%微納操控%魯棒控製%抗榦擾控製%內模控製
초정밀사복계통%미납조공%로봉공제%항간우공제%내모공제
ultra high precision mechatronics%nano manipulation%robust control%anti-disturbance control%internal-model based control
随着智能微纳器件和高性能数字系统的飞速发展,超精密伺服技术已逐步成为信息存储、精密成像、半导体装备等新兴行业的核心技术.本文从微纳操控领域的设计和控制问题着手,首先介绍了超精密伺服系统的设计及分析方法,进而阐述了超精密伺服系统对控制理论提出的诸多挑战.特别针对这类系统中广泛存在的模型不确定性及高阶未建模动态特性,非线性迟滞特性及执行机构饱和非线性,多源复杂干扰并存情况的抗干扰控制问题,以及面向复杂轨迹的高精度跟踪控制问题,给出了具有代表性的控制算法和应用实例.本文最后以高精度直写式真空蒸发系统为例,介绍了超精密伺服技术在现代精密仪器设备中的重要应用.
隨著智能微納器件和高性能數字繫統的飛速髮展,超精密伺服技術已逐步成為信息存儲、精密成像、半導體裝備等新興行業的覈心技術.本文從微納操控領域的設計和控製問題著手,首先介紹瞭超精密伺服繫統的設計及分析方法,進而闡述瞭超精密伺服繫統對控製理論提齣的諸多挑戰.特彆針對這類繫統中廣汎存在的模型不確定性及高階未建模動態特性,非線性遲滯特性及執行機構飽和非線性,多源複雜榦擾併存情況的抗榦擾控製問題,以及麵嚮複雜軌跡的高精度跟蹤控製問題,給齣瞭具有代錶性的控製算法和應用實例.本文最後以高精度直寫式真空蒸髮繫統為例,介紹瞭超精密伺服技術在現代精密儀器設備中的重要應用.
수착지능미납기건화고성능수자계통적비속발전,초정밀사복기술이축보성위신식존저、정밀성상、반도체장비등신흥행업적핵심기술.본문종미납조공영역적설계화공제문제착수,수선개소료초정밀사복계통적설계급분석방법,진이천술료초정밀사복계통대공제이론제출적제다도전.특별침대저류계통중엄범존재적모형불학정성급고계미건모동태특성,비선성지체특성급집행궤구포화비선성,다원복잡간우병존정황적항간우공제문제,이급면향복잡궤적적고정도근종공제문제,급출료구유대표성적공제산법화응용실례.본문최후이고정도직사식진공증발계통위례,개소료초정밀사복기술재현대정밀의기설비중적중요응용.
