红外
紅外
홍외
INFRARED
2014年
11期
15-19
,共5页
刘铭%周朋%尚林涛%邢伟荣%周立庆
劉銘%週朋%尚林濤%邢偉榮%週立慶
류명%주붕%상림도%형위영%주립경
InAlSb%分子束外延%表面形貌%应变驰豫
InAlSb%分子束外延%錶麵形貌%應變馳豫
InAlSb%분자속외연%표면형모%응변치예
InAlSb/InSb薄膜材料的晶体质量会直接影响器件的性能.提高薄膜材料的晶体质量可以有效降低器件的暗电流,提高探测率和均匀性等.主要报道了掺铝锑化铟分子束外延技术的初步研究结果.通过采用多种测试方法对InAlSb分子束外延膜的晶体质量进行了分析,找出了影响晶体质量的因素,提高了InAlSb分子束外延的技术水平.实验结果表明,通过优化生长温度、束流比、升降温速率以及退火工艺等生长条件,可以获得高质量的InAlSb分子束外延膜.
InAlSb/InSb薄膜材料的晶體質量會直接影響器件的性能.提高薄膜材料的晶體質量可以有效降低器件的暗電流,提高探測率和均勻性等.主要報道瞭摻鋁銻化銦分子束外延技術的初步研究結果.通過採用多種測試方法對InAlSb分子束外延膜的晶體質量進行瞭分析,找齣瞭影響晶體質量的因素,提高瞭InAlSb分子束外延的技術水平.實驗結果錶明,通過優化生長溫度、束流比、升降溫速率以及退火工藝等生長條件,可以穫得高質量的InAlSb分子束外延膜.
InAlSb/InSb박막재료적정체질량회직접영향기건적성능.제고박막재료적정체질량가이유효강저기건적암전류,제고탐측솔화균균성등.주요보도료참려제화인분자속외연기술적초보연구결과.통과채용다충측시방법대InAlSb분자속외연막적정체질량진행료분석,조출료영향정체질량적인소,제고료InAlSb분자속외연적기술수평.실험결과표명,통과우화생장온도、속류비、승강온속솔이급퇴화공예등생장조건,가이획득고질량적InAlSb분자속외연막.
