电子技术应用
電子技術應用
전자기술응용
APPLICATION OF ELECTRONIC TECHNIQUE
2014年
11期
81-84,91
,共5页
喻兰芳%梁庭%熊继军%崔海波%刘雨涛%张瑞
喻蘭芳%樑庭%熊繼軍%崔海波%劉雨濤%張瑞
유란방%량정%웅계군%최해파%류우도%장서
4H-SiC%无线无源%高温压力传感器%Ansys%灵敏度%SiC深刻蚀
4H-SiC%無線無源%高溫壓力傳感器%Ansys%靈敏度%SiC深刻蝕
4H-SiC%무선무원%고온압력전감기%Ansys%령민도%SiC심각식
4H-SiC%wireless passive%high temperature pressure sensor%Ansys%sensitivity%SiC deep etch
高温压力传感器研制的主要目的是解决高温恶劣环境下的压力测量问题,SiC是制造高温压力传感器的理想材料,结合薄膜技术与陶瓷厚膜技术,提出了一种新型的4H-SiC无线无源电容式高温压力传感器设计方案.应用Ansys有限元分析软件进行仿真,600℃时灵敏度为2.65 MHz/bar,说明传感器在高温下具有较高的灵敏度,对制备过程中的关键工艺——SiC深刻蚀进行了验证,刻蚀深度达到124 μm,满足传感器制备要求.
高溫壓力傳感器研製的主要目的是解決高溫噁劣環境下的壓力測量問題,SiC是製造高溫壓力傳感器的理想材料,結閤薄膜技術與陶瓷厚膜技術,提齣瞭一種新型的4H-SiC無線無源電容式高溫壓力傳感器設計方案.應用Ansys有限元分析軟件進行倣真,600℃時靈敏度為2.65 MHz/bar,說明傳感器在高溫下具有較高的靈敏度,對製備過程中的關鍵工藝——SiC深刻蝕進行瞭驗證,刻蝕深度達到124 μm,滿足傳感器製備要求.
고온압력전감기연제적주요목적시해결고온악렬배경하적압력측량문제,SiC시제조고온압력전감기적이상재료,결합박막기술여도자후막기술,제출료일충신형적4H-SiC무선무원전용식고온압력전감기설계방안.응용Ansys유한원분석연건진행방진,600℃시령민도위2.65 MHz/bar,설명전감기재고온하구유교고적령민도,대제비과정중적관건공예——SiC심각식진행료험증,각식심도체도124 μm,만족전감기제비요구.
