SiO2/CH/Au复合黑腔诊断孔电火花加工技术
SiO2/CH/Au복합흑강진단공전화화가공기술
Fabrication of diagnostic hole of SiO2/CH/Au hohlraum by micro-electrical discharge machining
  • 万方数据
    强激光与粒子束 강격광여입자속
    HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
    2014年 11期 72-75 ,共4页

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    SiO2/CH/Au%hohlraum%diagnostic hole%electrical discharge machining%inertial confinement fusion
    通过电火花加工技术,采用含碳较高的煤油作为电介质,利用导电性能及加工性能较好的紫铜作电极材料,实现了SiO2/CH/Au复合黑腔侧表面方形诊断孔的精密加工.采用OLYMPUS STM6测量显微镜对诊断孔尺寸,结果表明:孔的尺寸加工精度可控制在士10 μm内,同一电极加工的诊断孔尺寸一致性可控制在±5 μm内.采用扫描电镜能谱分析SiO2/CH/Au加工导电层的成分,结果表明:电火花加工过程中,由于电介质分解生成游离态的碳以及电极材料铜熔融后沉积在CH和SiO2层表面,形成辅助导电层.通过加工辅助导电层,产生的瞬时高温使SiO2和CH层熔融气化,从而实现对绝缘层的加工.
    통과전화화가공기술,채용함탄교고적매유작위전개질,이용도전성능급가공성능교호적자동작전겁재료,실현료SiO2/CH/Au복합흑강측표면방형진단공적정밀가공.채용OLYMPUS STM6측량현미경대진단공척촌,결과표명:공적척촌가공정도가공제재사10 μm내,동일전겁가공적진단공척촌일치성가공제재±5 μm내.채용소묘전경능보분석SiO2/CH/Au가공도전층적성분,결과표명:전화화가공과정중,유우전개질분해생성유리태적탄이급전겁재료동용융후침적재CH화SiO2층표면,형성보조도전층.통과가공보조도전층,산생적순시고온사SiO2화CH층용융기화,종이실현대절연층적가공.
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