当代化工
噹代化工
당대화공
CONTEMPORARY CHEMICAL INDUSTRY
2014年
11期
2469-2471
,共3页
韩小月%李晓华%赵建为%张云晖
韓小月%李曉華%趙建為%張雲暉
한소월%리효화%조건위%장운휘
硅%磷%分析%综述
硅%燐%分析%綜述
규%린%분석%종술
Silicon%Phosphorus%Analysis%Review
综述了近10年来硅材料中磷含量的分析方法，方法主要包括电感耦合等离子体原子发射光谱法、二次离子质谱法、X-射线荧光光谱法、分光光度法等，并对每一种方法的应用情况作了简要的评述。
綜述瞭近10年來硅材料中燐含量的分析方法，方法主要包括電感耦閤等離子體原子髮射光譜法、二次離子質譜法、X-射線熒光光譜法、分光光度法等，併對每一種方法的應用情況作瞭簡要的評述。
종술료근10년래규재료중린함량적분석방법，방법주요포괄전감우합등리자체원자발사광보법、이차리자질보법、X-사선형광광보법、분광광도법등，병대매일충방법적응용정황작료간요적평술。
Analysis methods of phosphorus content in silicon materials in recent 10 years were reviewed, such as inductively coupled plasma atomic emission spectrometer, secondary ion mass spectrometer, X-ray fluorescence spectrometry, spectrophotometry and so on. Application of every method was discussed.
