中国机械
中國機械
중국궤계
CHINA MACHINERY
2014年
22期
226-227
,共2页
王会友%何维娜%李文艺%王晓琴%孙淑萍
王會友%何維娜%李文藝%王曉琴%孫淑萍
왕회우%하유나%리문예%왕효금%손숙평
真空灭弧室%真空度测量%校验%脉冲磁控放电法
真空滅弧室%真空度測量%校驗%脈遲磁控放電法
진공멸호실%진공도측량%교험%맥충자공방전법
本文从真空灭弧室真空度测量的意义入手，介绍了真空度离线和在线测量的技术现状和成果，并侧重分析了脉冲磁控放电法存在的问题和基于该原理制造的真空度测试仪的校验方法，最后探讨了真空度测量技术的发展方向。
本文從真空滅弧室真空度測量的意義入手，介紹瞭真空度離線和在線測量的技術現狀和成果，併側重分析瞭脈遲磁控放電法存在的問題和基于該原理製造的真空度測試儀的校驗方法，最後探討瞭真空度測量技術的髮展方嚮。
본문종진공멸호실진공도측량적의의입수，개소료진공도리선화재선측량적기술현상화성과，병측중분석료맥충자공방전법존재적문제화기우해원리제조적진공도측시의적교험방법，최후탐토료진공도측량기술적발전방향。
