传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2014年
11期
73-75
,共3页
李玉平%何常德%张娟婷%张慧%宋金龙%薛晨阳
李玉平%何常德%張娟婷%張慧%宋金龍%薛晨暘
리옥평%하상덕%장연정%장혜%송금룡%설신양
电容式MEMS超声传感器%接收传感器%ANSYS%寄生电容%灵敏度
電容式MEMS超聲傳感器%接收傳感器%ANSYS%寄生電容%靈敏度
전용식MEMS초성전감기%접수전감기%ANSYS%기생전용%령민도
CMUS%receiving sensor%ANSYS%parasitic capacitance%sensitivity
目前电容式MEMS超声传感器(CMUS)多为收发一体结构,但二种工作模式对传感器结构要求存在很大差异,设计时为了兼顾收发性能往往不能使传感器性能达到最优;此外,传统的电容式MEMS超声传感器还存在寄生电容大的缺点.针对以上问题,基于收发分离的思想,设计了一种专用作超声接收的MEMS电容式传感器,结构上采用上下电极引线互错,单元间电极联线交错的方式来减小寄生电容.通过理论分析和ANSYS仿真得到所设计传感器的最佳工作电压为586V,灵敏度为174.2 fF/Pa,满足现有超声接收传感器的应用要求.
目前電容式MEMS超聲傳感器(CMUS)多為收髮一體結構,但二種工作模式對傳感器結構要求存在很大差異,設計時為瞭兼顧收髮性能往往不能使傳感器性能達到最優;此外,傳統的電容式MEMS超聲傳感器還存在寄生電容大的缺點.針對以上問題,基于收髮分離的思想,設計瞭一種專用作超聲接收的MEMS電容式傳感器,結構上採用上下電極引線互錯,單元間電極聯線交錯的方式來減小寄生電容.通過理論分析和ANSYS倣真得到所設計傳感器的最佳工作電壓為586V,靈敏度為174.2 fF/Pa,滿足現有超聲接收傳感器的應用要求.
목전전용식MEMS초성전감기(CMUS)다위수발일체결구,단이충공작모식대전감기결구요구존재흔대차이,설계시위료겸고수발성능왕왕불능사전감기성능체도최우;차외,전통적전용식MEMS초성전감기환존재기생전용대적결점.침대이상문제,기우수발분리적사상,설계료일충전용작초성접수적MEMS전용식전감기,결구상채용상하전겁인선호착,단원간전겁련선교착적방식래감소기생전용.통과이론분석화ANSYS방진득도소설계전감기적최가공작전압위586V,령민도위174.2 fF/Pa,만족현유초성접수전감기적응용요구.
