传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2014年
11期
44-47
,共4页
李亮%杜利东%赵湛%卫克晶
李亮%杜利東%趙湛%衛剋晶
리량%두리동%조담%위극정
硅压阻式压力传感器%标定测试%温度补偿%最小二乘法
硅壓阻式壓力傳感器%標定測試%溫度補償%最小二乘法
규압조식압력전감기%표정측시%온도보상%최소이승법
Si piezo-resistive pressure sensor%calibration and test%temperature compensation%least square method
硅压阻式压力传感器受制造工艺和测量环境的影响,其输出大都具有一定的非线性,其中以温度的影响最为明显.鉴于此,传感器需要准确地标定测试和温度补偿,首先制作一种带有高精度AD和微处理器的数字气压传感器,用它采集数据;然后分析测试设备,确定采用恒压变温的标定方案,它不仅效率高,而且能准确反映传感器的温度和输出特性;最后用最小二乘算法在微处理器上实现温度补偿,补偿后传感器的输出精度满足了应用需求.
硅壓阻式壓力傳感器受製造工藝和測量環境的影響,其輸齣大都具有一定的非線性,其中以溫度的影響最為明顯.鑒于此,傳感器需要準確地標定測試和溫度補償,首先製作一種帶有高精度AD和微處理器的數字氣壓傳感器,用它採集數據;然後分析測試設備,確定採用恆壓變溫的標定方案,它不僅效率高,而且能準確反映傳感器的溫度和輸齣特性;最後用最小二乘算法在微處理器上實現溫度補償,補償後傳感器的輸齣精度滿足瞭應用需求.
규압조식압력전감기수제조공예화측량배경적영향,기수출대도구유일정적비선성,기중이온도적영향최위명현.감우차,전감기수요준학지표정측시화온도보상,수선제작일충대유고정도AD화미처리기적수자기압전감기,용타채집수거;연후분석측시설비,학정채용항압변온적표정방안,타불부효솔고,이차능준학반영전감기적온도화수출특성;최후용최소이승산법재미처리기상실현온도보상,보상후전감기적수출정도만족료응용수구.
