运城学院学报
運城學院學報
운성학원학보
JOURNAL OF YUNCHENG UNIVERSITY
2014年
5期
40-42
,共3页
气浮导轨%气浮轴承%结构设计
氣浮導軌%氣浮軸承%結構設計
기부도궤%기부축승%결구설계
Aerostatic guideways%Air bearing%Structural design
在超精密气浮定位平台研究工作中，气浮轴承是基本单元，导轨滑架与气浮轴承的连接采用自准式定位结构，并且闭式导轨中辅助支撑一侧的气浮轴承安装支架串联蝶形弹簧，起到了间隙补偿的作用，有效的补偿了由于温度变化，加工、安装误差造成的气膜间隙变化，降低了加工要求，提高了导轨的性能。
在超精密氣浮定位平檯研究工作中，氣浮軸承是基本單元，導軌滑架與氣浮軸承的連接採用自準式定位結構，併且閉式導軌中輔助支撐一側的氣浮軸承安裝支架串聯蝶形彈簧，起到瞭間隙補償的作用，有效的補償瞭由于溫度變化，加工、安裝誤差造成的氣膜間隙變化，降低瞭加工要求，提高瞭導軌的性能。
재초정밀기부정위평태연구공작중，기부축승시기본단원，도궤활가여기부축승적련접채용자준식정위결구，병차폐식도궤중보조지탱일측적기부축승안장지가천련접형탄황，기도료간극보상적작용，유효적보상료유우온도변화，가공、안장오차조성적기막간극변화，강저료가공요구，제고료도궤적성능。
In the ultra-precision aerostatic positioning stage research, aerostatic guideways with air bear-ing flotation rail unit, both sides of the air bearing guideways carriage have the auto collimator positioning con-nection structure, and one side of the air bearing mounting bracket with series butterfly spring, played the role of gas film gap compensation, compensating the gas film gap changes caused by temperature changes, processing, installation errors, reducing the processing requirements, improving the rail properties.
