光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2014年
11期
3004-3011
,共8页
王建彬%朱永伟%谢春祥%徐俊%居志兰
王建彬%硃永偉%謝春祥%徐俊%居誌蘭
왕건빈%주영위%사춘상%서준%거지란
固结磨料%研磨液%乙二醇%蓝宝石晶片
固結磨料%研磨液%乙二醇%藍寶石晶片
고결마료%연마액%을이순%람보석정편
fixed abrasive%lapping slurry%ethylene glycol%sapphire wafer
开展了固结磨料研磨单晶蓝宝石面板的实验研究,探索了不同研磨液对材料去除速率和工件表面质量的影响.分析了研磨液对蓝宝石表面的化学作用,探索了固结磨料研磨蓝宝石晶体的材料去除机理.实验显示:使用W14镀镍金刚石固结磨料研磨蓝宝石单晶,研磨液仅为去离子水时,材料去除率(MRR)为149.8 nm/min、表面粗糙度(Ra)为76.2 nm;而研磨液中加入2％的乙二醇后,相应的MRR为224.1 nm/min,Ra为50.7 nm.用光电子能谱仪(XPS)分析了工件表面,结果表明含有乙二醇的研磨液能够增加蓝宝石工件表面的活性.得到的结果显示:在溶液中加入乙二醇有利于表面软化层的生成并增加蓝宝石表面的活性,说明研磨液对蓝宝石单晶研磨效率的提升和表面质量的改善具有促进作用.
開展瞭固結磨料研磨單晶藍寶石麵闆的實驗研究,探索瞭不同研磨液對材料去除速率和工件錶麵質量的影響.分析瞭研磨液對藍寶石錶麵的化學作用,探索瞭固結磨料研磨藍寶石晶體的材料去除機理.實驗顯示:使用W14鍍鎳金剛石固結磨料研磨藍寶石單晶,研磨液僅為去離子水時,材料去除率(MRR)為149.8 nm/min、錶麵粗糙度(Ra)為76.2 nm;而研磨液中加入2％的乙二醇後,相應的MRR為224.1 nm/min,Ra為50.7 nm.用光電子能譜儀(XPS)分析瞭工件錶麵,結果錶明含有乙二醇的研磨液能夠增加藍寶石工件錶麵的活性.得到的結果顯示:在溶液中加入乙二醇有利于錶麵軟化層的生成併增加藍寶石錶麵的活性,說明研磨液對藍寶石單晶研磨效率的提升和錶麵質量的改善具有促進作用.
개전료고결마료연마단정람보석면판적실험연구,탐색료불동연마액대재료거제속솔화공건표면질량적영향.분석료연마액대람보석표면적화학작용,탐색료고결마료연마람보석정체적재료거제궤리.실험현시:사용W14도얼금강석고결마료연마람보석단정,연마액부위거리자수시,재료거제솔(MRR)위149.8 nm/min、표면조조도(Ra)위76.2 nm;이연마액중가입2％적을이순후,상응적MRR위224.1 nm/min,Ra위50.7 nm.용광전자능보의(XPS)분석료공건표면,결과표명함유을이순적연마액능구증가람보석공건표면적활성.득도적결과현시:재용액중가입을이순유리우표면연화층적생성병증가람보석표면적활성,설명연마액대람보석단정연마효솔적제승화표면질량적개선구유촉진작용.
