光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2014年
11期
2945-2949
,共5页
李欣%施政%贺树敏%高绪敏%张苗%王永进
李訢%施政%賀樹敏%高緒敏%張苗%王永進
리흔%시정%하수민%고서민%장묘%왕영진
可调光栅%氮化物光栅%静电驱动器%微机电系统
可調光柵%氮化物光柵%靜電驅動器%微機電繫統
가조광책%담화물광책%정전구동기%미궤전계통
tunable grating%nitride grating%electro-static actuator%Micro-electrical-mechanical System(MEMS)
将静电梳齿微驱动器与三族氮化物光栅集成,获得了利用静电梳齿微驱动器调节光栅周期的硅基三族氮化物光栅.首先,以硅基三族氮化物基片为基础,设计了微机电可调光栅,光栅的设计周期为1.1 μm,设计线宽为0.8 μm.然后,利用严格耦合波分析法研究了横向磁场模式下可调光栅的光学响应特性;研究显示改变光栅周期和占空比,光栅的谐振波峰出现了明显偏移.最后,介绍了结合电子束光刻、三族氮化物干法刻蚀和深硅刻蚀技术制备微机电可调三族氮化物光栅的方法.严格耦合波分析和实验表明:制备的微机电可调三族氮化物光栅具有良好的质量;在静电驱动器上施加电压,可将光栅的谐振波峰由1.345 μm调节至1.40 μm,满足了利用微机电技术调节三族氮化物光栅光学响应特性的要求.
將靜電梳齒微驅動器與三族氮化物光柵集成,穫得瞭利用靜電梳齒微驅動器調節光柵週期的硅基三族氮化物光柵.首先,以硅基三族氮化物基片為基礎,設計瞭微機電可調光柵,光柵的設計週期為1.1 μm,設計線寬為0.8 μm.然後,利用嚴格耦閤波分析法研究瞭橫嚮磁場模式下可調光柵的光學響應特性;研究顯示改變光柵週期和佔空比,光柵的諧振波峰齣現瞭明顯偏移.最後,介紹瞭結閤電子束光刻、三族氮化物榦法刻蝕和深硅刻蝕技術製備微機電可調三族氮化物光柵的方法.嚴格耦閤波分析和實驗錶明:製備的微機電可調三族氮化物光柵具有良好的質量;在靜電驅動器上施加電壓,可將光柵的諧振波峰由1.345 μm調節至1.40 μm,滿足瞭利用微機電技術調節三族氮化物光柵光學響應特性的要求.
장정전소치미구동기여삼족담화물광책집성,획득료이용정전소치미구동기조절광책주기적규기삼족담화물광책.수선,이규기삼족담화물기편위기출,설계료미궤전가조광책,광책적설계주기위1.1 μm,설계선관위0.8 μm.연후,이용엄격우합파분석법연구료횡향자장모식하가조광책적광학향응특성;연구현시개변광책주기화점공비,광책적해진파봉출현료명현편이.최후,개소료결합전자속광각、삼족담화물간법각식화심규각식기술제비미궤전가조삼족담화물광책적방법.엄격우합파분석화실험표명:제비적미궤전가조삼족담화물광책구유량호적질량;재정전구동기상시가전압,가장광책적해진파봉유1.345 μm조절지1.40 μm,만족료이용미궤전기술조절삼족담화물광책광학향응특성적요구.
