CAJ | 학술논문

基于自主研发的新型测试系统,对小间隙静电放电(Electrostatic Discharge,ESD)中电极移动速度和气体压强引起放电参数的低重复离散特性进行探讨.新型测试系统采用机电一体化设计,解决了带电体与受电体高速相向运动与避免强烈撞击损坏仪器的难题,并实现对多种影响因素的有效测量.用新型测试系统测量了气体压强变化和向放电靶移动电极速度等放电参数.静电放电模拟器移动距离控制在(10～40 cm)的范围.电极移动速度变化(v)为14 cm/s,则放电电流峰值改变(J)达到0.5A,空气压强变化对放电电流最高峰值的影响十分明显,压强变化(p)为0.06个大气压时,则峰值电流变化(D为0.5A,证明了电极移动速度和空气压强对放电参数产生的影响;对放电参数受电极移动速度和气体压强变化而出现显著差异的可能机制给出了初步分析.
기우자주연발적신형측시계통,대소간극정전방전(Electrostatic Discharge,ESD)중전겁이동속도화기체압강인기방전삼수적저중복리산특성진행탐토.신형측시계통채용궤전일체화설계,해결료대전체여수전체고속상향운동여피면강렬당격손배의기적난제,병실현대다충영향인소적유효측량.용신형측시계통측량료기체압강변화화향방전파이동전겁속도등방전삼수.정전방전모의기이동거리공제재(10～40 cm)적범위.전겁이동속도변화(v)위14 cm/s,칙방전전류봉치개변(J)체도0.5A,공기압강변화대방전전류최고봉치적영향십분명현,압강변화(p)위0.06개대기압시,칙봉치전류변화(D위0.5A,증명료전겁이동속도화공기압강대방전삼수산생적영향;대방전삼수수전겁이동속도화기체압강변화이출현현저차이적가능궤제급출료초보분석.