电子世界
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전자세계
ELECTRONICS WORLD
2014年
24期
396-396
,共1页
ITO薄膜%透明导电氧化物薄膜%磁控溅射
ITO薄膜%透明導電氧化物薄膜%磁控濺射
ITO박막%투명도전양화물박막%자공천사
ITO薄膜的制作是彩色虎光片生产中非常重要的一道工序，本文着重介绍了薄膜的制作工艺有磁控溅射、化学气相沉积、真空反应蒸发、溶胶一凝胶法、微波ECR等离子体反应蒸发沉积、脉冲激光沉积、喷射热分解等几种方法。其中磁控溅射工艺具有沉积速率高均匀性好等优点而成为一种广泛应用的成膜方法。对磁控溅射的原理、磁控溅射具有的特点进行了较为详细的叙述。
ITO薄膜的製作是綵色虎光片生產中非常重要的一道工序，本文著重介紹瞭薄膜的製作工藝有磁控濺射、化學氣相沉積、真空反應蒸髮、溶膠一凝膠法、微波ECR等離子體反應蒸髮沉積、脈遲激光沉積、噴射熱分解等幾種方法。其中磁控濺射工藝具有沉積速率高均勻性好等優點而成為一種廣汎應用的成膜方法。對磁控濺射的原理、磁控濺射具有的特點進行瞭較為詳細的敘述。
ITO박막적제작시채색호광편생산중비상중요적일도공서，본문착중개소료박막적제작공예유자공천사、화학기상침적、진공반응증발、용효일응효법、미파ECR등리자체반응증발침적、맥충격광침적、분사열분해등궤충방법。기중자공천사공예구유침적속솔고균균성호등우점이성위일충엄범응용적성막방법。대자공천사적원리、자공천사구유적특점진행료교위상세적서술。
